Descripción
El horno de tubo vertical CVD (carburo de silicio) adopta el metiltriclorosilano (MTS) como fuente de aire para fabricar materiales de revestimiento con superficies resistentes a la oxidación y modificar los caracteres del material matriz.
Características Técnicas
1. Se adopta el control más avanzado para controlar el flujo y la presión del metiltriclorosilano (MTS), realizando una deposición estable de flujo de aire y un rango pequeño de presión de fluctuación.
2. El horno de deposición de vapor químico al vacío utiliza la cámara de deposición de especial diseño, que asegura un buen efecto de sellado y un funcionamiento de gran protección anticontaminante.
3. Múltiples ventanas de deposición aseguran la homogeneidad del flujo de campo, sin deposiciones en las esquinas inactivas y una buena superficie de deposición.
4. Durante el proceso de deposiciones se realiza el tratamiento del gas residual altamente corrosivo, el gas explosivo e inflamable, el polvo sólido y los materiales adhesivos de bajo punto de fusión.
5. El nuevo diseño de la unidad de vacío anticorrosivo asegura horas largas de trabajo continuo y un tiempo reducido de mantenimiento.
Configuración Opcional del Horno de Tubo Vertical CVD
1. Puerta de horno: tipo elevación a tornillo/hidráulica/manual, Cerradura manual/cerradura automática de collar de bloqueo.
2. Recipiente de horno: Todo de acero al carbono/Capa interna de acero inoxidable/Completamente de acero inoxidable.
3. Zona de candente de horno: Fieltro de carbono ligero/ Fieltro de grafito ligero/ Fieltro duro compuesto /CFC
4. Compuesto calefactor y mufla: Grafito isostático prensado / Pureza de presión alta, grafito de densidad y fuerzas altas/ grafito de tamaño fino.
5. Sistema de proceso de gas: Flujómetro de volumen/masa, válvula manual/automática, marca extranjera/marca china.
6. Bomba de vacío y calibre: marca extranjera/china
7. HMI: Pantalla de simulación/táctil/computador industrial personal
8. PLC (Control Lógico Programable): OMRON/Siemens
9. Controlador de temperatura: SHIMADEN/EUROTHERM
10.Termopar: Tipo C, S, K, N
11. Registrador: Registrador sin papel/con papel, marca extranjera/china
12. Componentes eléctricos: CHINT/Schneider/Siemens
Especificaciones del Horno de Tubo Vertical CVD
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Espec/Modelo
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VCVD-0305-SIC
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VCVD-0608- SIC
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VCVD-0812- SIC
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VCVD-1015- SIC
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VCVD-1120- SIC
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VCVD-1520- SIC
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Dimensiones del área de trabajo(D × H) (mm)
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Φ300 × 500
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Φ600 × 800
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Φ800 × 1200
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Φ1000 × 1500
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Φ1100 × 2000
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Φ1500 × 2000
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Temperatura máxima(°C)
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1500
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1500
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1500
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1500
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1500
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1500
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Temperatura uniforme (Cº)
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±5
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±5
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±7,5
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±7,5
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±10
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±10
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Vacío final (Pa)
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50
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50
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50
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50
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50
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50
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Rango de aumento de presión (Pa/h)
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0,67
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0,67
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0,67
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0,67
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0,67
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0,67
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Los parámetros anteriores pueden ser ajustados según los requisitos del proceso, y no tienen que ser aceptados como estándar. Los detalles y especificaciones requeridos serán registrados en la propuesta técnica y los contratos.
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