Descripción
El horno vertical CVD (Carbono) es utilizado para materiales compuestos CVD que utilizan gas hidrocarbonado (como C3H8) como fuente de carbono. Trabaja en el tratamiento en CVD y CVI para materiales de carbono.
Características Técnicas
1. Utiliza diferentes zonas de control de temperatura de acuerdo con el tamaño de la zona de trabajo, asegurando una buena homogeneidad de temperatura.
2. Se adopta la tecnología de control más avanzada para el control del flujo y la presión del metiltriclorosilano (MTS), realizando una deposición estable del flujo de aire y un rango pequeño de fluctuación de la presión.
3. El nuevo diseño de la unidad de vacío anticorrosivo asegura un periodo continuo de trabajo y una tasa menor de mantenimiento.
4. El horno al vacío de carbono vertical utiliza una cámara de deposición de diseño especial, que asegura un buen efecto de sellado y un funcionamiento con una máxima protección anticontaminante.
5. Las ventanas múltiples de deposición aseguran la uniformidad de flujo de campo, sin deposiciones en las esquinas inactivas y una gran superficie de deposición
6. El gas residual de alta corrosividad, el gas explosivo e inflamable, el polvo sólido y el producto de bajo punto de fusión son tratados de manera efectiva en el proceso de deposición.
Configuración Opcional del Horno Vertical CVD
1. Puerta de Horno:Tipo elevación a tornillo/ hidráulica/ manual, cerradura manual/ cerradura automática con collar de bloqueo.
2. Recipiente del horno: Todo en acero al carbono /capa interior de acero inoxidable/Completamente de acero inoxidable
3. Zona candente de horno: Fieltro suave de carbono/Fieltro suave de grafito/Fieltro duro compuesto/CFC
4. Componente calefactor y mufla: Grafito isostático prensado / pureza de prensa alta / grafito de densidad y fuerza altas / grafito de tamaño fino
5. Sistema de proceso de gas: flujómetro de volumen/masa, válvula manual/automática, marca importada/marca china
6. Bomba de vacío y calibre : marca importada/marca china
7. HMI: Pantalla de simulación/táctil/Computador industrial personal
8. PLC (Control Lógico Programable): OMRON/Siemens
9. Controlador de temperatura: SHIMADEN/EUROTHERM
10. Termopares: tipo C, Tipo S, Tipo R , tipo B
11. Registrador: Registrador sin papel/con papel, marca importada/ marca china
12. Componentes eléctricos: CHINT/Schneider/Siemens
Especificaciones del Horno al Vacío de Carbono Vertical
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Espec/Modelo
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VCVD-0305-C
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VCVD-0608-C
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VCVD-0812-C
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VCVD-1015-C
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VCVD-1120-C
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VCVD-1520-C
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VCVD-2632--C
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Dimensiones del área de trabajo (D × H ) (mm)
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Φ300 × 500
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Φ600 × 800
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Φ800 × 1200
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Φ1000 × 1500
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Φ1100 × 2000
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Φ1500 × 2000
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Φ2600 × 3200
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Temperatura máxima(°C)
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1500
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1500
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1500
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1500
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1500
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1500
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1500
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Temperatura uniforme (Cº)
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±5
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±5
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±7,5
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±7,5
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±10
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±10
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±15
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Vacío final (Pa)
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50
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50
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50
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50
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50
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50
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50
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Rango de aumento de presión (Pa/h)
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0,67
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0,67
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0,67
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0,67
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0,67
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0,67
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0,67
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Los parámetros anteriores pueden ser ajustados según los requisitos del proceso, y no tienen que ser aceptados como estándar. Los detalles y especificaciones requeridos serán registrados en la propuesta técnica y los contratos.
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