説明垂直管炉CVD（carburoデsilicio）が材料matriz. を耐酸化性被覆材料を作製し、表面の文字を変更するためのメチルトリクロロシラン（MTS）空気源を取り
技術的特徴1.最も高度な制御が安定した堆積気流と小さな圧力範囲fluctuación. を行う、メチルトリクロロシラン（MTS）の流量及び圧力を制御するために採用されています
2.良好なシール効果と高い保護性能anticontaminante. を確実に真空蒸着チャンバ特殊な設計を用いたマイクロ波化学気相蒸着、
3.複数のウィンドウが堆積非アクティブコーナーと良好な表面deposición. ずに堆積均一性流れ場を確保します
成膜処理腐食性の高い廃ガス、可燃性及び爆発性の気体、固体粉末と接着材料低い点の間4.fusión. 行われます
5.真空ユニット防食の新しいデザインは、連続作業の長い時間とmantenimiento. の減少時間を確保します
オプションの設定垂直管炉CVD1.ゲートオーブンスクリューリフト/油圧/手動手動ロック/自動ロックカラータイプbloqueo.
2.コンテナオーブン：完全にすべての炭素鋼/ステンレス鋼インナー層/スチールinoxidable.
3.ゾーンホットオーブン：フェルト光/光は、カーボン/グラファイト複合ハード/ CFC フェルト
4.化合物と加熱マッフル：グラファイト静水圧プレス/純度高圧高密度グラファイト力/グラファイトサイズfino.
5.システムプロセスガス：流量計の体積/質量、手動/自動弁、外国のマーク/マークchina.
6.真空ポンプとゲージ：外国マーク/ china
7. HMI：シミュレーション画面/タッチ/産業用コンピュータpersonal
8. PLC（プログラマブル・ロジック・コントロール）：オムロン/ Siemens
9.温度コントローラ：シマデン/ EUROTHERM
10.Termopar：タイプC、S、K、N
11.レコーダー：ペーパーレスレコーダー/紙、海外ブランド/ china
12.電気部品：CHINT /シュナイダー/ Siemens
仕様縦型管状炉のCVD| 仕様/モデル | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608- SIC | VCVD-0812- SIC | VCVD-1015- SIC | VCVD-1120- SIC | VCVD-1520- SIC |
| 作業領域の寸法（D×H）（MM） | 500×Φ300 | 800×Φ600 | 1200×Φ800 | 1500×Φ1000 | 2000×Φ1100 | 2000×Φ1500 |
| 最高温度（°C） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 均一な温度（℃） | ±5 | ±5 | 7.5± | 7.5± | ±10 | ±10 |
| 究極の真空（PA） | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| 圧力上昇（PA /時間）の範囲 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 上記のパラメータは、プロセスによって要求されるように調整することができ、そして標準として受け入れられる必要はありません。必要な詳細及び仕様は、技術提案書や契約に記録されます。 |
