モデル | VS-020203 | VS-030306 | VS-040 408 | VS-050 513 |
作業領域のサイズ(A×A×L)(ミリメートル) | 200×200×300 | 300×300×600 | 400×400×800 | 500×500×1300 |
最大重量(キログラム)(現在の体重負荷を意味するものではありません) | 30 | 150 | 250 | 500 |
最高温度真空オーブン合成(°C) | 1550 | 1550 | 1550 | 1550 |
温度の均一性(°C) | ±3 | ±3 | ±3 | ±5 |
熱出力(kW) | 45 | 75 | 105 | 210 |
到達真空度(Pa)で | 1 | 1 | 1 | 1 |
圧力の上昇率(PA / H) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
プロセスガス | Ar / NAr / N2 | Ar / NAr / N2 | Ar / NAr / N2 | Ar / NAr / N2 |
上記のパラメータは、プロセス要件に調整することができ、標準的な受け入れはなく、具体的な詳細は、契約および技術提案に記載されています。 |
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