説明水平管炉CVD（carburoデsilicio）耐酸化性被覆材料を製造するためのメチルトリクロロシラン（MTS）空気源を使用して、材料matriz. の表面特性を変更します
技術的特徴堆積プロセス中に1が効果的に腐食性の高い廃ガス、可燃性および爆発性ガス、粉塵及び低fusión. の固体材料であり、
2.良好なシール効果と強力な能力を保証する特別な設計の堆積チャンバを使用してマイクロ波化学気相蒸着anticontaminante.
3.メチルトリクロロシランの流量と圧力の正確な制御（MTS）のための最も先進的な技術は、安定した成膜気流と狭い圧力範囲fluctuación. を行い、採用されています
前記真空ユニット防食の新しい設計は、連続的な作業時間とmantenimiento. の低い割合を確実に
5.複数のWindows堆積が堆積非アクティブコーナーと、より良い効果deposición. ずに均質場の流れに達します
6。作業領域は、大規模なCVD炉用のスペースを確保するためには、2.5メートルの5メートル×2.5メートル×べきです
オプションの設定水平チューブ炉CVD型ヒンジスライディング/回転、手動ロック/自動ロックカラーbloqueo. ：オーブンで1ゲート
2.コンテナオーブン：完全にすべての炭素鋼/ステンレス鋼インナー層/スチールinoxidable.
前記ホットゾーン炉：フェルト光/光は、カーボン/グラファイト、ハード化合物をフェルト/CFC.
4.コンポーネント加熱マッフル：グラファイト静水圧プレス/純度の高いプレス密度と強度グラファイト/グラファイトサイズfino.
5.システムプロセスガス：流量計の体積/質量、手動/自動弁インポートマーク/ china
6.真空ポンプとゲージ：輸入マーク/マークchina.
7. HMI：シミュレーション画面/タッチ/産業用コンピュータpersonal.
8. PLC（プログラマブル・ロジック・コントロール）：オムロン/ Siemens.
9.温度コントローラ：シマデン/ EUROTHERM
10.熱電対：タイプC、S、K、N.
11.レコーダー：ペーパーレスレコーダー/紙、輸入マーク/ china.
12.電気部品：CHINT /シュナイダー/ Siemens.
13. Lastkraftwagen：ローラータイプ/フォーク/折りたたみ型伝導型の長いdistancia.
技術仕様オーブン気相成長法化学| 仕様/モデル | HCVD-060609-SIC | HCVD-080812-SIC | HCVD-101015-SIC | HCVD-121225-SIC | HCVD-151530-SIC |
| 作業領域の寸法（W×H×L）（MM） | 600×900×Φ600 | 800×1200×Φ800 | 1500×1000倍Φ1000 | 200×2500×Φ1200 | 500×3000×Φ1500 |
| 最高温度（°C） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 均一な温度（℃） | 7.5± | 7.5± | 7.5± | ±10 | ±10 |
| 究極の真空（PA） | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| 圧力上昇（PA /時間）の範囲 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 上記のパラメータは、プロセスによって要求されるように調整することができ、そして標準として受け入れられる必要はありません。必要な詳細及び仕様は、技術提案書や契約に記録されます。 |
