| 仕様モデル | TMDS-020230 | TMDS-030306 | TMDS-040408 | TMDS-050513 |
| サイズ熱の有効面積A×A×L(mm)の | 200×200×300 | 300×300×600 | 400×400×800 | 500×500×1300 |
| マックス。質量(kg)(負荷の実際の重量を意味するものではありません) | 30 | 150 | 250 | 500 |
| 最高温度(℃) | 1550 | 1550 | 1550 | 1550 |
| 温度の均一性(°C) | ±3 | ±3 | ±3 | ±5 |
| 熱出力(kW) | 45 | 75 | 90 | 210 |
| 到達真空度(Pa)で | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 圧力の上昇率(PA / H) | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 | ≤0.67 |
| ガス脱脂 | Ar / NAr / N2/ H2 | Ar / NAr / N2/ H2 | Ar / NAr / N2/ H2 | Ar / NAr / N2/ H2 |
| 上記のパラメータは、プロセス要件に調整することができ、それらは標準的な受け入れないので、具体的な詳細が提案および技術契約に確立されるべきです。 | ||||

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