| 仕様/モデル | VD-020203 | VD-030306 | VD-040408 | VD-050513 |
| 作業領域のサイズ(A×A×L)(ミリメートル) | 200×200×300 | 300×300×600 | 400×400×800 | 500×500×1300 |
| 最大重量(キログラム)(重量が実際の負荷を意味するものではありません) | 30 | 150 | 250 | 500 |
| 最高温度(℃) | 950 | 950 | 950 | 950 |
| 均一温度(°C) | ±3 | ±3 | ±3 | ±5 |
| 熱出力(kW) | 30 | 60 | 75 | 125 |
| 到達真空度(Pa)で | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 圧力の上昇率(PA / H) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| プロセスガス | Ar / NAr / N2/ H2 | Ar / NAr / N2/ H2 | Ar / NAr / N2/ H2 | Ar / NAr / N2/ H2 |
| 上記のパラメータは、プロセス要件に調整し、標準的な受け入れではなく、具体的な詳細は、提案や技術的な契約に宣言する必要がありますすることができます。 | ||||

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