descriereCVD cuptor tubular vertical (carburo de silicio) ia metiltriclorsilanului (MTS), sursa de aer pentru a face materiale de acoperire rezistente la oxidare și modificarea suprafețelor caracterelor materialului matriz.
caracteristici tehnice1. cel mai avansat de control este adoptat pentru a controla debitul și presiunea metiltriclorsilanului (MTS), ceea ce face un flux de aer de depunere stabilă și un interval de presiune mică fluctuación.
2. Depunerea chimică a vaporilor cu microunde folosind un design special vid cameră de depunere, care asigură un bun efect de etanșare și de performanță ridicată protecție anticontaminante.
3. ferestre multiple asigură uniformitatea fluxului de câmp de depunere fără colțuri inactive și depunerile deposición. de suprafață bună
4. In timpul tratamentului de depunere a gazelor reziduale foarte coroziv, inflamabil și gaz exploziv, pulberea solidă și materialele adezive punct jos se efectuează fusión.
5. Noul design al unității de vid Anticoroziva asigură ore de lucru continuu și timpul redus de mantenimiento.
Configurare opțională Tub Vertical Cuptor BCV1. Poarta de ridicare șurub cuptor / hidraulic / manuală Manual de blocare / automată guler tip de blocare bloqueo.
2. Cuptor container: Toate oțel carbon / oțel inoxidabil interior strat / oțel complet inoxidable.
3. Zona cuptorului fierbinte: Felt lumina / lumina Felt de carbon / grafit simțit compozit greu / CFC
4. Compus și încălzire mufla: forțe izostatică Grafit presare / puritate înaltă presiune și grafit de înaltă densitate / grafit dimensiune fino.
5. procesul de sistem de gaz: volumul debitmetru / masa, manuală / automată supapă, marca străină / mărci china.
6. Pompa de vid și ecartament: marca străină / china
7. HMI: ecran de simulare / touch / computer industrial personal
8. PLC (Programmable Logic Control): OMRON / Siemens
9. Regulator de temperatură: Shimaden / EUROTHERM
10.Termopar: Type C, S, K, N
11. Recorder: informatizat Recorder / hârtie, marca străină / china
12. Componente electrice: Chint / Schneider / Siemens
Specificații Tub Vertical Cuptor BCV| Spec / model | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608- SIC | VCVD-0812- SIC | VCVD-1015- SIC | VCVD-1120- SIC | VCVD-1520- SIC |
| Dimensiunile zonei de lucru (D x H) (mm) | Φ300 × 500 | Φ600 × 800 | Φ800 × 1200 | Φ1000 × 1500 | Φ1100 × 2000 | Φ1500 × 2000 |
| Temperatura maximă (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| temperatură uniformă (C °) | ± 5 | ± 5 | ± 7.5 | ± 7.5 | ± 10 | ± 10 |
| vacuum Ultimate (Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Intervalul de creștere a presiunii (Pa / h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| Parametrii de mai sus pot fi ajustate conform cerințelor procesului, și nu trebuie să fie acceptată ca standard. detalii și specificațiile necesare vor fi înregistrate în propunerea tehnică și contracte. |
