descriereCVD cuptor tubular orizontal (carburo de silicio) folosind metiltriclorsilanului (MTS), sursa de aer pentru a face materiale de acoperire rezistente la oxidare și de a modifica caracteristicile de suprafață ale materialului matriz.
caracteristici tehnice1. în timpul procesului de depunere este gaz eficient puternic coroziv deșeuri, gaze inflamabile și explozive, praful și materialul solid de fusión. scăzut
2. Depunerea vaporilor chimici cu microunde folosind o cameră de depunere de design special, care asigură un bun efect de etanșare și o capacitate puternică de anticontaminante.
este adoptat 3. cea mai avansată tehnologie pentru un control precis al debitului și presiunii metiltriclorsilanului (MTS), efectuarea fluxului de aer de depunere stabilă și un interval de presiune îngust fluctuación.
4. Noul design al unității de vid Anticoroziva asigură perioade de lucru continuă și o proporție redusă de mantenimiento.
5. ferestre multiple ajunge la depunerea de omogenitate a fluxului câmpului, fără colțuri inactive și depunerile un efect mai bun deposición.
Zona de lucru 6.The ar trebui să fie 2.5m × × 5m 2.5m, pentru a face loc pentru mare cuptor BCV
Configurare opțională tub orizontală BCV cuptor1. Poarta cuptor: Tip balama rotative / glisante, blocare manuală / automată guler de blocare bloqueo.
2. Cuptor container: Toate oțel carbon / oțel inoxidabil interior strat / oțel complet inoxidable.
3. cuptor zona fierbinte: Felt lumină / lumină Felt carbon / grafit simțit /CFC. greu compus
4. Componenta și mufla de încălzire: Grafit izostatică / Puritate de înaltă densitate de presă și rezistență grafit / grafit dimensiune fino.
5. procesul de sistem de gaz: volumul debitmetru / masa, manuală / supapă automată marca importate / china
6. pompa de vid și de gabarit: importate marca / mărcile china.
7. HMI: ecran de simulare / tactil / Industrial Computer personal.
8. PLC (Programmable Logic Control): OMRON / Siemens.
9. Regulator de temperatură: Shimaden / EUROTHERM
10. termocuplului: Type C, S, K, N.
11. Recorder: informatizat Recorder / hârtie, marca importate / china.
12. Componente electrice: Chint / Schneider / Siemens.
13. Lastkraftwagen: role tip / furcă / tip pliere tip de conducere distancia. lung
Specificații tehnice Cuptor de Vapori Chimie| Spec / model | HCvD-060609-SIC | HCvD-080812-SIC | HCvD-101015-SIC | HCvD-121225-SIC | HCvD-151530-SIC |
| Dimensiuni zonă de lucru (W x H x L) (mm) | Φ600 × 600 × 900 | Φ800 × 800 × 1200 | Φ1000 × 1000 × 1500 | Φ1200 × 200 × 2500 | Φ1500 × 500 × 3000 |
| Temperatura maximă (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| temperatură uniformă (C °) | ± 7.5 | ± 7.5 | ± 7.5 | ± 10 | ± 10 |
| vacuum Ultimate (Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Intervalul de creștere a presiunii (Pa / h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| Parametrii de mai sus pot fi ajustate conform cerințelor procesului, și nu trebuie să fie acceptată ca standard. detalii și specificațiile necesare vor fi înregistrate în propunerea tehnică și contracte. |
