descriereCVD cuptor vertical (carbon) este utilizat pentru CVD compozite folosind hidrocarburi gazoase (cum ar fi C3H8) ca sursă de carbon. El lucreaza in CVD si CVI tratament pentru materiale carbono.
caracteristici tehnice1. Folosiți diferite zone de control al temperaturii în funcție de mărimea zonei de lucru, asigurând o bună omogenitate a temperatura.
este adoptat 2. tehnologie de control și presiunea metiltriclorsilanului (MTS) de control al fluxului mai avansat, ceea ce face o depunere stabilă a fluxului de aer și o gamă mică de fluctuație presión.
3. Noul design al unității de vid Anticoroziva asigură perioade de lucru continuă și o rată mai mică de mantenimiento.
4. Cărbunele cuptor cu vid vertical folosește un design special cameră de depunere, care asigură un bun efect de etanșare și operare cu protecție maximă anticontaminante.
5. ferestre multiple depunerea să asigure uniformitatea câmpului de curgere, fără depuneri în colțurile inactive și o suprafață deposición
6. Gazul rezidual foarte coroziv, explozive și gaze inflamabile, pulberea solidă și produsul cu punct de topire scăzut sunt tratate în mod eficient în procesul de deposición.
Configurare opțională cuptor vertical BCV1. Poarta cuptor: tip șurub de ridicare / hidraulic / manuala manuala de blocare / blocare automată guler bloqueo.
2. Cuptor Container: Toate oțel carbon / oțel inoxidabil interior strat / oțel pentru inoxidable
3. Hot Zona cuptorului simțit moale de carbon / grafit simțit moale / dur compus Felt / CFC
4. Componenta și încălzire mufla: izostatică Grafit presare / puritate ridicată de presă / densitate de grafit și de înaltă rezistență / dimensiune grafit fino
5. procesul de sistem de gaz: volumul debitmetru / masa, manuală / automată supapă de marca importate / marchează china
6. pompa de vid și de gabarit: importate marca / mărcile china
7. HMI: ecran de simulare / tactil / Industrial Computer personal
8. PLC (Programmable Logic Control): OMRON / Siemens
9. Regulator de temperatură: Shimaden / EUROTHERM
10. Thermocouples: tip C, tip S, tip R, tip B
11. Recorder: informatizat Recorder / hârtie, marca importate / marchează china
12. Componente electrice: Chint / Schneider / Siemens
Specificații de vid Cuptor de carbon vertical| Spec / model | VCVD-0305-C | VCVD-0608-C | VCVD-0812-C | VCVD-1015-C | VCVD-1120-C | VCVD-1520-C | VCVD-2632 - C |
| Dimensiunile zonei de lucru (D x H) (mm) | Φ300 × 500 | Φ600 × 800 | Φ800 × 1200 | Φ1000 × 1500 | Φ1100 × 2000 | Φ1500 × 2000 | Φ2600 × 3200 |
| Temperatura maximă (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| temperatură uniformă (C °) | ± 5 | ± 5 | ± 7.5 | ± 7.5 | ± 10 | ± 10 | ± 15 |
| vacuum Ultimate (Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Intervalul de creștere a presiunii (Pa / h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| Parametrii de mai sus pot fi ajustate conform cerințelor procesului, și nu trebuie să fie acceptată ca standard. detalii și specificațiile necesare vor fi înregistrate în propunerea tehnică și contracte. |
