사양 / 모델 | VVGQ-0608S | VVGQ-0808S | VVGQ-1010S | VVGQ-1212S | VVGQ-1215S | VVGQ-1515S | VVGQ-1520s |
A (mm) × 효과적인 열 영역의 크기 Φ의 P | Φ600는 800 × | Φ800는 800 × | Φ1000는 1000 × | Φ1200는 1200 × | Φ1200는 1500 × | Φ1500는 1500 × | Φ1500는 2000 × |
용량 (kg) | (650) | 850 | 1,000 | 1,150 | 1,300 | 1,450 | 1,800 |
열 전력 (kW) | (120) | (180) | (270) | (330) | 390 | (420) | (540) |
최대 온도 (° C) | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 |
1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | |
온도의 균일 성 (° C) | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 |
진공 수직 노 어닐링 가스 낮은 부하의 진공도 (PA) | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 |
4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | |
진공의 정도 (PA) | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | |
압력 가스 급냉 (바) | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 |
냉각 가스 (99.995 %) | NN(2) | NN(2) | NN(2) | NN(2) | NN(2) | NN(2) | NN(2) |
Tag: 템퍼 용광로 높은 진공 | 템퍼링에 대한 높은 진공 용광로 | 전기로 수직 수직 물을 템퍼 | 수평 더블 챔버를 침탄 오븐 진공
Tag: 세로 형 열처리로의 CVD | 수직 튜브 전기로 | 수직 진공 전기로 탄소 | 오븐 화학 증착