사양 / 모델 | HVGQ | HVGQ | HVGQ | HVGQ | HVGQ | HVGQ | HVGQ |
-334S | -446S | -557S | -669S | -7711S | -8812S | -9915S | |
열 영역 × × L의 유효 크기 (mm) | 300 × 300 × 400 | 400 × 400 × 600 | 500 × 500 × 700 | 600 × 600 × 900 | × 700 × 1100 (700) | × 800 × 1200 (800) | × 900 × 1500 (900) |
부하 용량 템퍼링로 가스를 고압 (kg) | (75) | (250) | (400) | (600) | 1,000 | 1,200 | 1,500 |
열 전력 (kW) | (48) | (75) | (90) | (150) | (270) | 360 | 480 |
최대 온도 (° C) | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 |
1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | |
온도의 균일 성 (° C) | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 |
진공도 (PA) | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 |
4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | |
압력 증가 속도 (PA / H) | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | |
담금질 가스 압력 (바) | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 | 6/10/15/20 |
냉각 가스 (100.00 %) | NN(2) | NN(2) | NN(2) | NN(2) | NN(2) | NN(2) | NN(2) |
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