기술수평의 튜브 노 CVD (carburo 드 silicio)에 산화 방지 코팅 물질을 만드는 메틸 트리클로로 실란 (MTS) 공기 공급원을 이용하여 재료 matriz. 의 표면 특성을 수정할
기술 기능증착 프로세스 동안 1 효과적으로 폐기물 부식성 가스, 인화성 및 폭발성 가스, 먼지 및 낮은 fusión. 의 고체 물질 인
2. 양호한 밀봉 효과 및 강한 능력을 보장 특별한 디자인의 증착 챔버를 사용하여 마이크로파 화학 기상 증착 anticontaminante.
흐름과 메틸 트리클로 압력 (MTS)의 정확한 제어를위한 3 최첨단 기술 안정된 성막 기류 좁은 압력 범위 fluctuación. 수행 채용
4. 진공 부 내식성의 새로운 디자인은 연속 작업 기간 mantenimiento. 낮은 비율을 보장
5. 여러 창 증착 도달 동질성 필드 침착 비활성 모서리없이 흐름과 더 나은 효과 deposición.
6. 작업 영역은 대형 CVD로 공간을 마련하기 위해 250 만 5m × × 2.5m의이어야한다
선택적 구성 수평 튜브로의 CVD타입 힌지 슬라이딩 / 회전 잠금 수동 / 자동 잠금 칼라 bloqueo. : 오븐 1 게이트
2. 컨테이너 오븐 : 어느 정도의 설비를 모든 탄소 강철 / 스테인리스 스틸 내부 층 / 스틸 inoxidable.
3. 핫존은 : 펠트 광 / 광은 탄소 / 흑연 복합 하드 /CFC. 펠트
4. 성분 및 가열 머플 : 흑연 등방 가압 / 순도 높은 프레스 밀도 및 강도 흑연 / 흑연 크기 fino.
5. 시스템 프로세스 가스 : 유량계 부피 / 질량, 자동 / 수동 밸브 수입 마크 / china
6. 진공 펌프 및 게이지 : 수입 마크 / 마크 china.
7. HMI : 시뮬레이션 화면 / 터치 / 산업용 컴퓨터 personal.
제 PLC (프로그래머블 로직 제어) OMRON / Siemens.
9. 온도 컨트롤러 : Shimaden / EUROTHERM
10. 열전대 : 유형 C, S, K, N.
11. 레코더 : 페이퍼리스 레코더 / 종이, 수입 마크 / china.
12. 전기 구성 요소 : CHINT / 슈나이더 / Siemens.
Lastkraftwagen 13 : 롤러 형 / 포크 / 폴딩 형 도전 형 긴 distancia.
기술 사양 오븐 증착 화학| 사양 / 모델 | HCvD - 060609 - SIC | HCvD - 080812 - SIC | HCvD - 101015 - SIC | HCvD - 121225 - SIC | HCvD - 151530 - SIC |
| 작업 영역 크기 (W × H × L) (mm) | Φ600 × 600 × 900 | Φ800는 800 × 1200 × | Φ1000 1000 ×를 × 1500 | Φ1200는 200 × 2500 × | Φ1500는 500 × 3000 × |
| 최대 온도 (° C) | 1,500 | 1,500 | 1,500 | 1,500 | 1,500 |
| 균일 한 온도 (℃) | 7.5 ± | 7.5 ± | 7.5 ± | ± 10 | ± 10 |
| 궁극적 인 진공 (PA) | (50) | (50) | (50) | (50) | (50) |
| 압력 증가의 범위 (PA / 시간) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 위의 매개 변수는 프로세스에 의해 필요에 따라 조정할 수 있으며, 표준으로 인정 될 필요가 없다. 필수 사양 및 세부 정보는 기술 제안서와 계약서에 기록됩니다. |
