사양 / 모델 | VVA-0608S | VVA-0808S | VVA-0810S | VVA-1012S | VVA-1215S | VVA-1515S | VVA-1520s |
열 구역 Φ P의 유효 크기는 A (㎜) × | Φ600는 800 × | Φ800는 1000 × | Φ1000는 1000 × | Φ1000는 1200 × | Φ1200는 1500 × | Φ1500는 1500 × | Φ1500는 2000 × |
용량 (kg) | (650) | 1,000 | 1,150 | 1,300 | 1,450 | 1,800 | |
전원 필링 (킬로와트) | (120) | (180) | (270) | (330) | 390 | (420) | (540) |
최대 온도 (° C) | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 | 1,150 |
1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | 1,350 | |
온도의 균일 성 (° C) | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 |
진공도 진공 소둔 하부 수직로드 (PA) | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 |
4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | |
압력 증가 속도 (PA / H) | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | |
냉각 가스 압력 (바) | (2) | (2) | (2) | (2) | (2) | (2) | (2) |
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