Dikey CVD fırını (SiC)

tanım
dikey boru fırın CVD (Carburo de silicio) yüzeyleri karakter malzeme matriz.  oksidasyona dirençli kaplama maddeleri yapmak ve modifiye etmek için metiltriklorosilan (MTS), hava kaynağı alır

Teknik özellikler
1. en yüksek kontrol stabil çökeltme hava akımı ve küçük bir basınç aralığı fluctuación.  hale metiltriklorosilan (MTS) akışı ve basıncı kontrol etmek için benimsenmiştir
2. iyi bir sızdırmazlık etkisi ve yüksek koruma performansı anticontaminante.  sağlamaktadır vakumlu biriktirme bölmesi özel tasarımı ile mikrodalga kimyasal buhar biriktirme,
3. birden çok pencere birikimler etkin köşeler ve iyi yüzey deposición.  olmayan çökeltme biçimde olması, akış alanı sağlamak
çökeltme tedavisinde son derece korozif atık gaz, yanıcı ve patlayıcı gaz, katı bir toz ve yapıştırıcı maddelerin düşük noktası sırasında 4. fusión.  gerçekleştirilir
5. vakum ünitesi antikorozif yeni tasarım sürekli çalışma uzun saatler ve mantenimiento.  azaltılmış zaman sağlar

İsteğe bağlı yapılandırma Dikey Tüp Fırın CVD
1. Kapı fırın vida kaldırma / hidrolik / el Elle kilit / otomatik kilit yaka tipi bloqueo. 
2. Konteyner fırın: Tamamen Tüm karbon çeliği / paslanmaz çelik İç katman / çelik inoxidable. 
3. Bölge sıcak fırın: Işık Keçe / hafif karbon / grafit kompozit sert / CFC  keçe
4. Bileşik ve ısıtma hacim: Grafit izostatik presleme / Saflık yüksek basınç ve yüksek yoğunluklu grafit kuvvetleri / grafit boyutu fino. 
5. Sistem proses gazı: debimetre hacim / kütle, manuel / otomatik valf, dış işareti / işaretleri china. 
6. Vakum pompası ve ölçü: yabancı işareti / china 
7. HMI: simülasyon ekran / dokunmatik / endüstriyel bilgisayar personal 
8. PLC (Programlanabilir Mantık Kontrol): Omron / Siemens 
9. Sıcaklık denetleyicisi: Shimaden / EUROTHERM 
10.Termopar: Tip C, S, K, N 
11. Kayıt Cihazı: kağıtsız kayıt / kağıt, yabancı marka / china 
12. Elektrik bileşenleri: CHINT / Schneider / Siemens 

Özellikler Dikey Tüp Fırın CVD

Spec / Model	VCVD-0305-SIC	VCVD-0608- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1120- SIC	VCVD-1520- SIC
çalışma alanının boyutları (D x H) (mm)	Φ300 500 ×	Φ600 800 ×	Φ800 1200 ×	Φ1000 1500 ×	Φ1100 2000 ×	Φ1500 2000 ×
Maksimum sıcaklık (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
homojen bir sıcaklık (° C)	± 5	± 5	7.5 ±	7.5 ±	± 10	± 10
Nihai vakum (Pa)	50	50	50	50	50	50
Bu basınç artışı aralığı (Pa / saat)	.67	.67	.67	.67	.67	.67
Yukarıdaki parametreler süreç gerektirdiği şekilde ayarlanabilir ve standart olarak kabul etmek zorunda değildir. Gerekli ayrıntıları ve teknik özellikler teknik önerisi ve sözleşmelerde kaydedilecektir.