Yatay CVD fırını (SiC)

tanım
yatay borulu fırın (CVD Carburo de silicio) oksidasyona dayanıklı kaplama malzemelerinin yapılması için methyltrichlorosilane (MTS) hava kaynağı kullanılarak ve malzeme matriz.  yüzey özelliklerini değiştirmek için

Teknik özellikler
çökeltme işlemi sırasında 1. etkili bir yüksek derecede aşındırıcı atık gazın, yanıcı ve patlayıcı gaz, toz ve düşük fusión.  katı madde olan
2. iyi bir sızdırmazlık etkisi ve güçlü bir yeteneği sağlayan özel bir tasarım çökeltme odacığıyla mikrodalga kimyasal buhar biriktirme anticontaminante. 
akış ve metiltriklorosilan basınç altında (MTS) hassas kontrolü için 3. En ileri teknoloji sabit birikme hava akışı ve dar bir basınç aralığı fluctuación.  performans benimsenmiştir
4. vakum ünitesi antikorozif yeni tasarım sürekli çalışma süresi ve mantenimiento.  düşük bir oranda sağlamaktadır
5. Birden fazla pencere çökeltme erişim homojenlik alan birikimleri etkin köşeleri olmayan akış ve daha iyi bir etki deposición. 
6.The çalışma alanı geniş CVD fırınına yer açmak amacıyla 2,5 m 5m × × 2,5 m olmalıdır

İsteğe bağlı yapılandırma Yatay borulu fırın CVD
Tip menteşe kaydırma / dönen Elle kilit / otomatik kilit yaka bloqueo. : fırın 1. Kapı
2. Konteyner fırın: Tamamen Tüm karbon çeliği / paslanmaz çelik İç katman / çelik inoxidable. 
3. Sıcak bölge fırın: Keçe ışık / hafif karbon / grafit sert bileşik /CFC.  keçe
4. Komponent ve ısıtma hacim: Grafit izostatik presleme / Saflık yüksek baskı yoğunluğu ve mukavemeti grafit / grafit boyutu fino. 
5. Sistem proses gazı: debimetre hacim / kütle, manuel / otomatik valf içe işareti / china 
6. Vakum pompası ve ölçü: ithal işareti / işaretleri china. 
7. HMI: simülasyon ekran / dokunmatik / Endüstriyel Bilgisayar personal. 
8. PLC (Programlanabilir Mantık Kontrol): Omron / Siemens. 
9. Sıcaklık denetleyicisi: Shimaden / EUROTHERM 
10. Termokupl: Tip C, S, K, N. 
11. Kayıt Cihazı: kağıtsız kayıt / kağıt, içe işareti / china. 
12. Elektrik bileşenleri: CHINT / Schneider / Siemens. 
13. Lastkraftwagen: silindir tipi / çatal / katlama tipi iletim tipi uzun distancia. 

Teknik özellikler Fırın Buhar Biriktirme Kimya

Spec / Model	HCvD-060609-SIC	HCvD-080812-SIC	HCvD-101015-SIC	HCvD-121225-SIC	HCvD-151530-SIC
çalışma alanı boyutları (G x Y x L) (mm)	Φ600 600 x 900 ×	Φ800 800 x 1200 ×	Φ1000 1000 x × 1500	Φ1200 200 x 2500 ×	Φ1500 500 x 3000 ×
Maksimum sıcaklık (° C)	1500	1500	1500	1500	1500
homojen bir sıcaklık (° C)	7.5 ±	7.5 ±	7.5 ±	± 10	± 10
Nihai vakum (Pa)	50	50	50	50	50
Bu basınç artışı aralığı (Pa / saat)	.67	.67	.67	.67	.67
Yukarıdaki parametreler süreç gerektirdiği şekilde ayarlanabilir ve standart olarak kabul etmek zorunda değildir. Gerekli ayrıntıları ve teknik özellikler teknik önerisi ve sözleşmelerde kaydedilecektir.