descriçãoA DCV fornalha vertical tubular (carburo de silicio) converte metiltriclorossilano fonte de ar (MTS) para a fabricação de materiais de revestimento resistente à oxidação e modificar superfícies de materiais caracteres matriz.
Características tecnicas1. o controle mais avançada é adoptado para controlar o fluxo e a pressão de metiltriclorossilano (MTS), fazendo um fluxo de ar estável e deposição de uma pequena gama de pressão fluctuación.
2. A deposição de vapor químico de microondas utilizando vácuo câmara de deposição de criação especial, que garante um bom efeito de vedação e anticontaminante. alto desempenho de protecção
3. Várias janelas assegurar a uniformidade do campo de fluxo de deposição sem cantos inactivos deposições e boa deposición. superfície
4. Durante o tratamento deposição gases residuais altamente corrosivos, inflamáveis e gás explosivo, o pó sólido e os materiais adesivos de baixo ponto é realizada fusión.
5. O novo desenho da unidade de vácuo anticorrosivo garante longas horas de trabalho contínuo e redução do tempo de mantenimiento.
configuração opcional tubo vertical CVD Furnace1. Portão parafuso forno elevador / hidráulico / manual de bloqueio / automática tipo de bloqueio de gola bloqueo.
2. forno Container: Todo o aço de carbono / aço inoxidável Inner camada / aço totalmente inoxidable.
3. Zona forno quente: feltro luz / luz de feltro de carbono / feltro de grafite composto duro / CFC
4. Composto e aquecimento mufla: forças isostática Grafite de prensagem / Pureza de alta pressão e de grafite de alta densidade / tamanho grafite fino.
5. Sistema de gás processo: o volume de medidor de escoamento / massa, válvula manual / automático, marca externa / marcas china.
6. bomba de vácuo e de calibre: marca estrangeira / china
7. HMI: tela de simulação / touch / computador industrial personal
8. CLP (Controlador Lógico Programável): Omron / Siemens
9. Controlador de temperatura: Shimaden / EUROTHERM
10.Termopar: Tipo C, S, K, N
11. Recorder: sem papel gravador / papel, marca estrangeira / china
12. Os componentes eléctricos: CHINT / Schneider / Siemens
Especificações Tubo Vertical CVD Furnace| Spec / Modelo | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608- SIC | VCVD-0812- SIC | VCVD-1015- SIC | VCVD-1120- SIC | VCVD-1520- SIC |
| Dimensões da área de trabalho (D × H) (mm) | Φ300 × 500 | Φ600 × 800 | Φ800 × 1200 | Φ1000 × 1500 | Φ1100 × 2000 | Φ1500 × 2000 |
| temperatura máxima (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| temperatura uniforme (° C) | ± 5 | ± 5 | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 10 | ± 10 |
| limite de vácuo (Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Gama de aumento da pressão (Pa / h) | .67 | .67 | .67 | .67 | .67 | .67 |
| Os parâmetros acima podem ser ajustados como exigido pelo processo, e não necessita de ser aceite como padrão. detalhes necessários e especificações serão gravados na proposta técnica e contratos. |
