descriçãoA DCV forno tubular horizontal (carburo de silicio) usando metiltriclorossilano (MTS) da fonte de ar para a fabricação de materiais de revestimento resistente à oxidação e para modificar as características da superfície do material matriz.
Características tecnicas1. Durante o processo de deposição é eficazmente gás altamente corrosivo resíduos, gás inflamável e explosivo, o pó e o material sólido de baixo fusión.
2. A deposição de vapor químico de microondas utilizando uma câmara de deposição de desenho especial, que garante um bom efeito de vedação e uma capacidade forte anticontaminante.
3. a tecnologia mais avançada para um controlo preciso de caudal e a pressão de metiltriclorossilano (MTS) é adoptado, a realização do fluxo de ar deposição estável e numa gama de pressão estreita fluctuación.
4. O novo desenho da unidade de vácuo anticorrosivo assegura período de trabalho contínuo e uma baixa proporção de mantenimiento.
5. janelas múltiplas deposição alcance fluxo do campo de homogeneidade, sem cantos inactivos deposições e um melhor efeito deposición.
área de trabalho 6.O deve ser de 2,5 m × 5m 2.5m, a fim de abrir espaço para o grande forno CVD
configuração opcional tubo horizontal DCV forno1. Portão forno: Tipo de charneira rotativo / deslizante, bloqueio manual / colar de bloqueio automático bloqueo.
2. forno Container: Todo o aço de carbono / aço inoxidável Inner camada / aço totalmente inoxidable.
3. forno zona quente: feltro luz / luz de feltro de carbono / grafite sentida /CFC. composto duro
4. Componente de aquecimento e de mufla: Grafite prensagem isostática / Pureza alta densidade prima e força grafite / grafite tamanho fino.
5. Sistema de gás processo: o volume de medidor de escoamento / massa, válvula manual / automático marca importado / china
6. bomba de vácuo e de calibre: importados marca / marcas china.
7. HMI: tela de simulação / touch / industrial Computer personal.
8. CLP (Controlador Lógico Programável): Omron / Siemens.
9. Controlador de temperatura: Shimaden / EUROTHERM
10. Termopar: Tipo C, S, K, N.
11. Recorder: sem papel gravador / papel, marca importada / china.
12. Os componentes eléctricos: CHINT / Schneider / Siemens.
13. Lastkraftwagen: tipo rolo / garfo / tipo de dobragem tipo de condução longo distancia.
Especificações Técnicas Forno Vapor Deposition Química| Spec / Modelo | Equipa HCVD-060609-SIC | Equipa HCVD-080812-SIC | Equipa HCVD-101015-SIC | Equipa HCVD-121225-SIC | Equipa HCVD-151530-SIC |
| Dimensões área de trabalho (W x H x L) (mm) | Φ600 × 600 × 900 | Φ800 × 800 × 1200 | Φ1000 × 1000 × 1500 | Φ1200 × 200 × 2500 | Φ1500 × 500 × 3000 |
| temperatura máxima (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| temperatura uniforme (° C) | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 10 | ± 10 |
| limite de vácuo (Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Gama de aumento da pressão (Pa / h) | .67 | .67 | .67 | .67 | .67 |
| Os parâmetros acima podem ser ajustados como exigido pelo processo, e não necessita de ser aceite como padrão. detalhes necessários e especificações serão gravados na proposta técnica e contratos. |
