Horizontale CVD oven (SiC)

beschrijving
De horizontale buisoven CVD (Carburo de silicio) via methyltrichloorsilaan (MTS) luchtbron voor het maken bekledingsmaterialen bestand tegen oxidatie en oppervlaktekenmerken van het materiaal matriz.  wijzigen

technische kenmerken
1. Tijdens het depositieproces effectief zeer corrosief afvalgas brandbare en explosieve gassen, stof en het vaste materiaal met een lage fusión. 
2. De afzetting van chemische damp magnetron onder toepassing van een depositiekamer van speciaal ontwerp, met een goede afdichting en een sterk vermogen verzekert anticontaminante. 
3. de meest geavanceerde technologie voor nauwkeurige regeling van de stroom en druk van methyltrichloorsilaan (MTS) vastgesteld, uitvoerende stabiele afzetting luchtstroom en een smal drukbereik fluctuación. 
4. Het nieuwe ontwerp van de vacuümeenheid corrosiewerende zorgt voor een continue werkperiode en een geringe hoeveelheid mantenimiento. 
5. Meerdere ramen afzetting bereik homogeniteit veld stroom zonder afzettingen inactief hoeken en een beter effect deposición. 
6. Het werkgebied moet × 2,5 m × 2,5 m 5m, om plaats te maken voor het grote CVD oven te maken

Optionele configuratie horizontale buisoven CVD
1. Poort oven: Type scharnier draaien / schuiven, handmatig vergrendelen / automatische vergrendeling kraag bloqueo. 
2. Container oven: All koolstofstaal / roestvrijstaal Binnenlaag / steel volledig inoxidable. 
3. warme zone oven: Vilt lichte / licht Vilt carbon / grafiet voelde harde compound /CFC. 
4. Componenten verwarming moffeloven: Graphite isostatisch persen / zuiverheid hoge persdichtheid en sterkte graphite / graphite maat fino. 
5. Systeem procesgas: stroommeter volume / massa handmatig / automatische klep ingevoerde cijfer / china 
6. Vacuümpomp en spoorbreedte: ingevoerde teken / tekens china. 
7. HMI: simulatie scherm / touch / Industrial Computer personal. 
8. PLC (Programmable Logic Control): OMRON / Siemens. 
9. Temperatuurregelaar: Shimaden / EUROTHERM 
10. Thermokoppel: Type C, S, K, N. 
11. Recorder: papierloze recorder / papier, geïmporteerd mark / china. 
12. Elektrische componenten: CHINT / Schneider / Siemens. 
13. Lastkraftwagen: roltype / voorvork / opvouwbare type geleidingstype lange distancia. 

Technische specificaties Oven Vapor Deposition Chemistry

Spec / Model	HCvD-060.609-SIC	HCvD-080.812-SIC	HCvD-101015-SIC	HCvD-121225-SIC	HCvD-151.530-SIC
Afmetingen werkgebied (B x H x L) (mm)	Φ600 × 600 × 900	Φ800 × 800 × 1200	Φ1000 × 1000 × 1500	Φ1200 × 200 × 2500	Φ1500 × 500 × 3000
Maximum temperatuur (° C)	1500	1500	1500	1500	1500
uniforme temperatuur (° C)	± 7.5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10
Maximale onderdruk (Pa)	50	50	50	50	50
Reeks druktoename (Pa / h)	.67	.67	.67	.67	.67
De bovengenoemde parameters kunnen worden aangepast, zoals vereist door het proces, en hoeft niet te worden geaccepteerd als standaard. Vereiste details en specificaties zullen worden opgenomen in het technische voorstel en contracten.