kuvausPystysuora putkiuuni (CVD carburo de silicio) ottaa metyylitrikloorisilaanin (MTS) ilman lähde tekee päällysteen materiaalien hapettumista kestäväksi ja pintojen modifioimiseksi merkkiä materiaali matriz.
Tekniset ominaisuudet1. pisimmällä ohjaus on hyväksytty ohjaamaan ja paine metyylitrikloorisilaanin (MTS), joten vakaan laskeuman ilmavirran ja pieni paine alueella fluctuación.
2. mikroaaltouuni CVD käyttäen tyhjiösaostuskammiossa erityinen muotoilu, joka takaa hyvän tiivistyksen vaikutus ja korkea suoja suorituskyvyn anticontaminante.
3. Useita ikkunat takaavat laskeuma tasaisuus virtauksen kentällä ilman laskeumat toimeton kulmat ja hyvä pinnan deposición.
4. aikana saostuskäsittely erittäin syövyttäviä jätekaasua, syttyvää ja räjähtävää kaasua, kiinteä aine ja liima-aineita alimmillaan suoritetaan fusión.
5. Uusi muotoilu Imuriyksikkö korroosiosuoja takaa pitkän tuntia jatkuvaa työtä ja vähentää aikaa mantenimiento.
Valinnainen kokoonpano Vertical Tube Furnace CVD1. Gate uuni ruuvinostolaite / hydraulinen / manuaalinen Manuaalinen lukitus / automaattinen lukitus kaulus tyyppi bloqueo.
2. Kontti uuni: Kaikki hiiliteräs / ruostumaton teräs Sisäkerros / teräs Täysin inoxidable.
3. Alue kuumassa uunissa: Felt valo / valo Felt hiili / grafiitti tuntui komposiitti kova / CFC
4. Yhdiste ja kuumennusmuhvi: Grafiitti isostaattinen puristus / Puhtaus korkea paine ja korkea tiheys grafiitti voimien / grafiitti koko fino.
5. Järjestelmä prosessikaasu: virtausmittari tilavuus / paino, manuaalinen / automaattinen venttiili, ulko- merkki / merkit china.
6. Alipainepumppu ja mittari: ulkomainen merkki / china
7. HMI: simulointi näyttö / kosketusnäyttö / Industrial Computer personal
8. PLC (Programmable Logic Control): OMRON / Siemens
9. Lämpötilansäätimen: Shimaden / EUROTHERM
10.Termopar: C-tyypin, S, K, N
11. Recorder: sähköiseen tallentimeen / paperi, ulkomainen merkki / china
12. Sähkökomponentit: CHINT / Schneider / Siemens
Erittelyt Vertical Tube Furnace CVD| Spec / Malli | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608- SIC | VCVD-0812- SIC | VCVD-1015- SIC | VCVD-1120- SIC | VCVD-1520- SIC |
| Mitat työalueen (D x H) (mm) | Φ300 × 500 | Φ600 × 800 | Φ800 × 1200 | Φ1000 × 1500 | Φ1100 × 2000 | Φ1500 × 2000 |
| Maksimi lämpötila (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| tasainen lämpötila (C °) | ± 5 | ± 5 | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 10 | ± 10 |
| Lopullinen tyhjö (Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| -painesuo- lisäys (Pa / h) | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 |
| Edellä mainittujen parametrien voidaan säätää tarpeen mukaan prosessia, ja ei tarvitse hyväksyä vakiona. Vaaditut tiedot ja tekniset kirjataan teknisen ehdotuksen ja sopimuksia. |
