kuvausPystysuoran uunin CVD (Carbon) käytetään komposiittien CVD käyttäen hiilivetykaasujen (kuten C3H8) hiilen lähteenä. Hän työskentelee CVD ja CVI hoito materiaalien carbono.
Tekniset ominaisuudet1. Käytä eri lämpötilansäätövyöhykettä koon mukaan työalueen, varmistaa hyvä homogeenisuus temperatura.
2. tekniikka pisimmällä ohjaus virtauksen ohjaus ja paineen metyylitrikloorisilaanin (MTS) hyväksytään, jolloin stabiili kerrostuminen ilmavirran ja pieni vaihteluvälin presión.
3. Uusi muotoilu Imuriyksikkö korroosiosuoja takaa jatkuvan työskentelyn aikana ja pienempää mantenimiento.
4. tyhjiöuunissa hiili pystysuora käyttää saostuskammiossa erityinen muotoilu, joka takaa hyvän tiivistyksen vaikutus ja toiminta mahdollisimman suoja anticontaminante.
5. Useat ikkunat laskeuma yhdenmukaisuuden varmistamiseksi virtauksen alalla, ei laskeumia aktiivisessa kulmat ja pinta deposición
6. jätekaasun erittäin syövyttävää, räjähtävää ja syttyvää kaasua, kiinteä aine ja tuotteen alhainen sulamispiste käsitellään tehokkaalla tavalla deposición.
Valinnainen Vertical CVD uunin kokoonpano1. Portti uuni: ruuvi tyyppi nosto / hydraulinen / manuaalinen manuaalinen lukitus / automaattinen lukitus kaulus bloqueo.
2. Container uuni: Kaikki hiiliteräs / ruostumaton teräs sisäkerros / teräs inoxidable
3. Hot Zone uuni pehmeä huopa hiili / grafiitti tuntui pehmeä / kova yhdiste Felt / CFC
4. Komponentti ja kuumennusmuhvi: Grafiitti isostaattinen puristus / erittäin puhdasta painamalla / grafiitti tiheys ja suuri lujuus / koko grafiitti fino
5. Järjestelmä prosessikaasu: virtausmittari tilavuus / paino, manuaalinen / automaattinen venttiili tuodaan merkki / merkitsee china
6. Alipainepumppu ja mittari: tuodaan merkki / merkit china
7. HMI: simulointi näyttö / kosketusnäyttö / Industrial Computer personal
8. PLC (Programmable Logic Control): OMRON / Siemens
9. Lämpötilansäätimen: Shimaden / EUROTHERM
10. Termoparit: tyyppi C, tyyppi S, tyyppi R, tyyppi B
11. Recorder: sähköiseen tallentimeen / paperi, tuodaan merkki / merkitsee china
12. Sähkökomponentit: CHINT / Schneider / Siemens
Erittelyt Vacuum uuninokimustareaktorin PystySpec / Malli | VCVD-0305-C | VCVD-0608-C | VCVD-0812-C | VCVD-1015-C | VCVD-1120-C | VCVD-1520-C | VCVD-2632 - C |
Mitat työalueen (D x H) (mm) | Φ300 × 500 | Φ600 × 800 | Φ800 × 1200 | Φ1000 × 1500 | Φ1100 × 2000 | Φ1500 × 2000 | Φ2600 × 3200 |
Maksimi lämpötila (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
tasainen lämpötila (C °) | ± 5 | ± 5 | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 10 | ± 10 | ± 15 |
Lopullinen tyhjö (Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
-painesuo- lisäys (Pa / h) | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 |
Edellä mainittujen parametrien voidaan säätää tarpeen mukaan prosessia, ja ei tarvitse hyväksyä vakiona. Vaaditut tiedot ja tekniset kirjataan teknisen ehdotuksen ja sopimuksia. |