kuvausVaakasuora putki uunin CVD (carburo de silicio) käyttäen metyylitrikloorisilaanin (MTS) ilman lähde tekee päällysteen materiaalien hapettumista kestäväksi ja muuttaa pintaominaisuuksia materiaalin matriz.
Tekniset ominaisuudet1. erotusprosessin aikana on tehokkaasti erittäin syövyttävää jätekaasua, syttyvää ja räjähtävää kaasua, pölyn ja kiinteän materiaalin alhainen fusión.
2. mikroaaltouuni CVD käyttäen saostuskammiossa on erityinen muotoilu, joka takaa hyvän tiivistyksen vaikutus ja vahva kyky anticontaminante.
3. pisimmällä tekniikka tarkan ohjauksen virtauksen ja paineen metyylitrikloorisilaanin (MTS) on annettu, suorittaa vakaa laskeuman ilmavirran ja kapea painealue fluctuación.
4. Uusi muotoilu Imuriyksikkö korroosiosuoja takaa jatkuvan työn aikana ja pientä osuutta mantenimiento.
5. Useat ikkunat laskeuma ulottuvilla tasalaatuisuus kenttä virtauksen ilman laskeumat toimeton kulmat ja parempi vaikutus deposición.
6.Physalis työalue olisi × 2,5 m × 2,5 m 5m, jotta saadaan tilaa suuri CVD uunin
Valinnainen kokoonpano Vaaka putkiuunissa CVD1. Portti uuni: Tyyppi sarana pyörivä / liukuva, Manuaalinen lukitus / automaattinen lukitus kaulus bloqueo.
2. Kontti uuni: Kaikki hiiliteräs / ruostumaton teräs Sisäkerros / teräs Täysin inoxidable.
3. kuuma vyöhyke uunin: Felt valo / valo Felt hiili / grafiitti tuntui kova yhdiste /CFC.
4. Komponentti ja kuumennusmuhvi: Grafiitti isostaattinen puristus / Puhtaus korkea paina tiheys ja lujuus grafiitti / grafiitti koko fino.
5. Järjestelmä prosessikaasu: virtausmittari tilavuus / paino, manuaalinen / automaattinen venttiili tuodaan merkki / china
6. Alipainepumppu ja mittari: tuodaan merkki / merkit china.
7. HMI: simulointi näyttö / kosketusnäyttö / Industrial Computer personal.
8. PLC (Programmable Logic Control): OMRON / Siemens.
9. Lämpötilansäätimen: Shimaden / EUROTHERM
10. Termopari: C-tyypin, S, K, N.
11. Recorder: sähköiseen tallentimeen / paperi, tuodaan merkki / china.
12. Sähkökomponentit: CHINT / Schneider / Siemens.
13. Lastkraftwagen: rulla tyyppi / haarukka / kokoontaitettava johtuminen long distancia.
Tekniset tiedot Uuni kaasufaasipinnoitus Chemistry| Spec / Malli | HCvD-060609-SIC | HCvD-080812-SIC | HCvD-101015-SIC | HCvD-121225-SIC | HCvD-151530-SIC |
| Mitat työalue (W x H x L) (mm) | Φ600 × 600 × 900 | Φ800 × 800 × 1200 | Φ1000 × 1000 x 1500 | Φ1200 × 200 × 2500 | Φ1500 × 500 × 3000 |
| Maksimi lämpötila (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| tasainen lämpötila (C °) | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 10 | ± 10 |
| Lopullinen tyhjö (Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| -painesuo- lisäys (Pa / h) | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 |
| Edellä mainittujen parametrien voidaan säätää tarpeen mukaan prosessia, ja ei tarvitse hyväksyä vakiona. Vaaditut tiedot ja tekniset kirjataan teknisen ehdotuksen ja sopimuksia. |
