miêu tảLò CVD ống thẳng đứng (carburo de silicio) mất methyltrichlorosilane (MTS) nguồn không khí để làm vật liệu lớp phủ kháng oxy hóa và sửa đổi các bề mặt vật liệu matriz.
tính năng kỹ thuật1. điều khiển tiên tiến nhất được áp dụng để kiểm soát dòng chảy và áp lực của methyltrichlorosilane (MTS), làm cho một luồng không khí lắng đọng ổn định và một loạt áp lực nhỏ fluctuación.
2. lắng đọng hơi hóa học lò vi sóng sử dụng chân không buồng lắng đọng thiết kế đặc biệt, đảm bảo tác dụng làm kín tốt và bảo vệ cao hiệu suất anticontaminante.
3. Nhiều cửa sổ đảm bảo trường dòng chảy đồng đều lắng đọng mà không depositions góc hoạt động và deposición. bề mặt tốt
4. Trong thời gian điều trị tích tụ khí thải ăn mòn cao, dễ cháy và khí nổ, bột rắn và vật liệu kết dính điểm thấp được thực hiện fusión.
5. Thiết kế mới của đơn vị chân chống ăn mòn đảm bảo giờ làm việc mệt mỏi liên tục và thời gian giảm mantenimiento.
cấu hình tùy chọn Vertical ống lò CVD1. Cổng vít lò lift / thủy lực / bằng tay Manual khóa / tự động loại khóa cổ bloqueo.
2. lò container: Tất cả thép carbon / thép không gỉ bên trong lớp / thép đầy đủ inoxidable.
3. Khu nóng lò nướng: Felt ánh sáng / ánh sáng Felt carbon / graphite cảm thấy composit cứng / CFC
4. Hợp chất và sưởi ấm múp: Graphite đẳng tĩnh nhấn / độ tinh khiết áp lực cao và mật độ graphite cao lực lượng / graphite kích thước fino.
5. Hệ thống xử lý khí: khối lượng dòng chảy mét / khối lượng, bằng tay / van tự động, nhãn hiệu nước ngoài / dấu china.
6. bơm hút chân không và đo: mark nước ngoài / china
7. HMI: Màn hình mô phỏng / touch / máy tính công nghiệp personal
8. PLC (Programmable Logic Control): OMRON / Siemens
9. điều khiển nhiệt độ: Shimaden / EUROTHERM
10.Termopar: Loại C, S, K, N
11. Recorder: không cần giấy tờ ghi / giấy, nhãn hiệu nước ngoài / china
12. linh kiện điện: CHINT / Schneider / Siemens
Thông số kỹ thuật dọc ống lò CVD| Spec / Model | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608- SIC | VCVD-0812- SIC | VCVD-1015- SIC | VCVD-1120- SIC | VCVD-1520- SIC |
| Kích thước của khu vực làm việc (D × H) (mm) | Φ300 × 500 | Φ600 × 800 | Φ800 × 1200 | Φ1000 × 1500 | Φ1100 × 2000 | Φ1500 × 2000 |
| Nhiệt độ tối đa (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| nhiệt độ đồng đều (C °) | ± 5 | ± 5 | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 10 | ± 10 |
| chân cuối cùng (Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Phạm vi của sự gia tăng áp lực (Pa / h) | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 |
| Các thông số trên có thể được điều chỉnh theo yêu cầu của quá trình này, và không cần phải được chấp nhận như là tiêu chuẩn. Các chi tiết được yêu cầu và thông số kỹ thuật sẽ được ghi lại trong đề xuất kỹ thuật và hợp đồng. |
