miêu tảLò CVD dọc (Carbon) được sử dụng cho composite CVD sử dụng khí hydrocarbon (như C3H8) như một nguồn carbon. Ông làm việc trong bệnh tim mạch và CVI xử lý đối với nguyên liệu carbono.
tính năng kỹ thuật1. Sử dụng các vùng khác nhau của kiểm soát nhiệt độ theo kích thước của khu vực làm việc, đảm bảo tính đồng nhất tốt của temperatura.
2. công nghệ điều khiển dòng điều khiển tiên tiến nhất và áp suất của methyltrichlorosilane (MTS) được thông qua, làm cho một sự lắng đọng ổn định của luồng không khí và một phạm vi nhỏ của biến động presión.
3. Thiết kế mới của đơn vị chân chống ăn mòn đảm bảo thời gian làm việc liên tục và một tỷ lệ thấp hơn của mantenimiento.
4. Các chân không lò cacbon thẳng đứng sử dụng một buồng lắng đọng thiết kế đặc biệt, đảm bảo tác dụng làm kín tốt và hoạt động với bảo vệ tối đa anticontaminante.
5. Nhiều cửa sổ lắng đọng đảm bảo tính thống nhất của trường dòng chảy, không depositions ở các góc hoạt động và một bề mặt deposición
6. Các khí thải ăn mòn cao, chất nổ và khí dễ cháy, bột rắn và các sản phẩm của nhiệt độ nóng chảy thấp được điều trị một cách hiệu quả trong quá trình deposición.
Tùy chọn cấu hình lò Vertical CVD1. Cổng lò: Loại vít lift / thủy lực / bằng tay thủ công khóa / khóa tự động cổ bloqueo.
2. lò container: Tất cả thép carbon / thép không gỉ bên trong lớp / thép cho inoxidable
3. Khu nóng lò nướng mềm cảm thấy carbon / graphite cảm thấy mềm / hợp chất cứng Felt / CFC
4. Thành phần và sưởi ấm múp: Graphite đẳng tĩnh nhấn / độ tinh khiết cao báo chí / mật độ graphite và cường độ cao / size graphite fino
5. Hệ thống xử lý khí: khối lượng dòng chảy mét / khối lượng, bằng tay / van tự động nhập khẩu đánh dấu / đánh dấu china
6. bơm hút chân không và đo: nhập khẩu đánh dấu / đánh dấu china
7. HMI: Màn hình mô phỏng / touch / công nghiệp personal Computer
8. PLC (Programmable Logic Control): OMRON / Siemens
9. điều khiển nhiệt độ: Shimaden / EUROTHERM
10. Cặp nhiệt điện: loại C, loại S, loại R, gõ B
11. Recorder: không cần giấy tờ ghi / giấy, nhãn hiệu nhập khẩu / đánh dấu china
12. linh kiện điện: CHINT / Schneider / Siemens
Thông số kỹ thuật hút chân không lò Carbon Dọc| Spec / Model | VCVD-0305-C | VCVD-0608-C | VCVD-0812-C | VCVD-1015-C | VCVD-1120-C | VCVD-1520-C | VCVD-2632 - C |
| Kích thước của khu vực làm việc (D × H) (mm) | Φ300 × 500 | Φ600 × 800 | Φ800 × 1200 | Φ1000 × 1500 | Φ1100 × 2000 | Φ1500 × 2000 | Φ2600 × 3200 |
| Nhiệt độ tối đa (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| nhiệt độ đồng đều (C °) | ± 5 | ± 5 | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 10 | ± 10 | ± 15 |
| chân cuối cùng (Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Phạm vi của sự gia tăng áp lực (Pa / h) | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 |
| Các thông số trên có thể được điều chỉnh theo yêu cầu của quá trình này, và không cần phải được chấp nhận như là tiêu chuẩn. Các chi tiết được yêu cầu và thông số kỹ thuật sẽ được ghi lại trong đề xuất kỹ thuật và hợp đồng. |
