описаниеПечи ХОПФ вертикальной трубы (carburo де Кремниевый) принимает метилтрихлорсилан источник воздуха (MTS) для изготовления покрывающих материалов, стойких к окислению и модификации поверхностей символов материала matriz.
Технические характеристики1. самый продвинутый контроль принят для того чтобы контролировать поток и давление метилтрихлорсилана (МТС), что делает стабильный поток воздуха для осаждения и небольшой диапазон давлений fluctuación.
2. Осаждение СВЧ-химическое осаждение из паровой камеры осаждения с использованием вакуумной специальной конструкции, которая обеспечивает хороший уплотняющий эффект и высокой степень защиты anticontaminante. производительности
3. Множественные окна обеспечивают осаждение поле потока равномерности без осаждений неактивных углов и хорошей поверхность deposición.
4. Во время лечения осаждения высоко агрессивных газов отходов, воспламеняется и взрывоопасных газов, твердого порошка и адгезивных материалов с низкой температурой выполняется fusión.
5. Новая конструкция вакуумного блока антикоррозионные обеспечивает долгие часы непрерывной работы и к уменьшению времени mantenimiento.
Опционная конфигурация Вертикальная трубчатая печь CVD1. Ворота винт печь подъем / гидравлический / ручной Ручная блокировка / автоматический замок типа воротника bloqueo.
2. Контейнер печи: Все углеродистая сталь / нержавеющая сталь Внутренний слой / сталь Полностью inoxidable.
3. Зона горячая печь: Войлок свет / свет Войлок углерод / графит чувствовал композитный жесткий / CFC
4. Соединение и муфель: Графит изостатического прессования / Чистота высокого давления и высокая плотность графит сила / графит размера fino.
5. Процесс System газа: объем расходомера / масса, ручной / автоматический клапан, внешняя метка / знаки china.
6. Вакуумный насос и датчик: внешняя метка / china
7. HMI: экран моделирования / сенсорный / промышленный компьютер personal
8. PLC (программируемый логический контроллер): OMRON / Siemens
9. Регулятор температуры: Shimaden / EUROTHERM
10.Termopar: Тип C, S, К, N
11. Регистратор: безбумажный регистратор / бумага, иностранный бренд / china
12. Электрические компоненты: CHINT / Schneider / Siemens
Технические характеристики Вертикальная трубчатая печь CVD| Spec / модель | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608- SIC | VCVD-0812- SIC | VCVD-1015- SIC | VCVD-1120- SIC | VCVD-1520- SIC |
| Размеры рабочей зоны (D × H) (мм) | Φ300 × 500 | Φ600 × 800 | Φ800 × 1200 | Φ1000 × 1500 | Φ1100 × 2000 | Φ1500 × 2000 |
| Максимальная температура (° С) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| однородная температура (° С) | ± 5 | ± 5 | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 10 | ± 10 |
| Предельный вакуум (Па) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Диапазон повышения давления (Па / ч) | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 |
| Приведенные выше параметры могут быть скорректированы в соответствии с требованиями процесса, и не должны быть приняты в качестве стандарта. Необходимые детали и спецификации будут записаны в техническом предложении и договорах. |
