описаниеПечи ХОПФ горизонтальной трубы (carburo де Кремниевая) с использованием метилтрихлорсилана источником воздуха (МТС) для изготовления покрывающих материалов, стойких к окислению и модификация поверхностных характеристик материала matriz.
Технические характеристики1. Во время процесса осаждения эффективно высококоррозионную отработанных газов, горючий и взрывоопасный газ, пыль и твердый материал с низкой fusión.
2. СВЧ-химическое осаждение из паровой фазы с использованием камеры осаждения специальной конструкции, которая обеспечивает хороший уплотняющий эффект и сильную способность anticontaminante.
3. самый передовые технологии для точного контроля расхода и давления метилтрихлорсилана (МТС) принимаются, выполняя стабильный воздушный поток осаждения и узкий диапазон давлений fluctuación.
4. Новая конструкция вакуумного блока антикоррозионные обеспечивает непрерывный период работы и низкий удельный вес mantenimiento.
5. Несколько окон осаждения достигают гомогенности потока поле без осаждениям неактивных углов и лучший эффект deposición.
6.The рабочая зона должна быть × 2,5 м × 2,5 м 5 м, для того, чтобы освободить место для большого CVD печи
Дополнительно конфигурация Горизонтальный трубчатой печи ХОПФ1. Ворота печи: Тип шарнира вращающиеся / раздвижные, Ручная блокировка / автоматический замок воротник bloqueo.
2. Контейнер печи: Все углеродистая сталь / нержавеющая сталь Внутренний слой / сталь Полностью inoxidable.
3. Зона нагрева печи: Войлок свет / свет Войлок углерод / графит чувствовал трудно соединение /CFC.
4. Компонент и муфель: Графит изостатического прессования / Чистота высокой плотности печати и прочность графита / графит размера fino.
5. Способ Системы газа: объем расходомера / масса, ручной / автоматический клапан импортируется марк / china
6. Вакуумный насос и калибровочные: импортирована знак / знаки china.
7. HMI: экран моделирования / сенсорный / Industrial Computer personal.
8. PLC (программируемый логический контроллер): OMRON / Siemens.
9. Регулятор температуры: Shimaden / EUROTHERM
10. Термопара: тип C, S, К, N.
11. Регистратор: безбумажный регистратор / бумага, импортная марка / china.
12. Электрические компоненты: CHINT / Schneider / Siemens.
13. Lastkraftwagen: роликовый тип / вилка / складной тип проводимости типа длина distancia.
Технические характеристики печи осаждения из паровой фазы Химия| Spec / модель | HCvD-060609-SIC | HCvD-080812-SIC | HCvD-101015-SIC | HCvD-121225-SIC | HCvD-151530-SIC |
| Размеры рабочей зоны (Ш × × L) (мм) | Φ600 × 600 × 900 | Φ800 × 800 × 1200 | Φ1000 × 1000 × 1500 | Φ1200 × 200 × 2500 | Φ1500 × 500 × 3000 |
| Максимальная температура (° С) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| однородная температура (° С) | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 10 | ± 10 |
| Предельный вакуум (Па) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Диапазон повышения давления (Па / ч) | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 |
| Приведенные выше параметры могут быть скорректированы в соответствии с требованиями процесса, и не должны быть приняты в качестве стандарта. Необходимые детали и спецификации будут записаны в техническом предложении и договорах. |
