opisPiec pionowy CVD (węgiel), jest stosowane dla kompozytów CVD, stosując gaz węglowodorowy (taki jak C3H8) jako źródło węgla. Pracuje w CVD i CVI traktowania materiałów carbono.
cechy techniczne1. Za pomocą różnych stref kontroli temperatury w zależności od wielkości obszaru roboczego, zapewniając dobrą jednorodność temperatura.
Technologia 2. Regulator przepływu Najbardziej zaawansowany układ i ciśnienie metylotrichlorosilanu (MTS) przyjmuje, tworząc stabilne osadzenie powietrza i mały zakres wahań presión.
3. Nowa konstrukcja przeciwkorozyjnej zespołu próżniowego zapewnia stały czas pracy i mniejszą stopę mantenimiento.
4. Piec próżniowy węgla wykorzystuje pionową komorę osadzania specjalną konstrukcję, która zapewnia dobre działanie uszczelniające i do pracy z maksymalną ochronę anticontaminante.
5. Wiele okien osadzania zapewnienia jednorodności pola przepływu, nie osadzanie w stanie nieczynnym, narożników i powierzchni deposición
6. Gaz bardzo żrący, wybuchowy i palny gaz odlotowy, stały proszek i produkt o niskiej temperaturze topnienia jest skuteczne w procesie deposición.
Opcjonalna konfiguracja piec pionowy CVD1. Brama piekarnik: podnośnik śrubowy / hydrauliczne / instrukcja obsługi zamka / automatyczna blokada kołnierz bloqueo.
2. Pojemnik piec: Wszystkie stali węglowej / stal nierdzewna wewnętrzna / warstwa stalowa do inoxidable
3. gorącej strefy pieca miękki filc węglowy / grafit czuł miękki / twardy związek Filc / CFC
4. Element grzejny i Mufa grafit izostatycznego / o wysokiej czystości, naciśnij / gęstość grafitu i wysoką wytrzymałość / rozmiar grafit fino
5. Sposób gazowy system: objętość / przepływomierza masowego, instrukcja / automatyczny zawór importowane znak / znaki china
6. Pompa próżniowa i cechowania: importowany znak / znaki china
7. HMI: ekran symulacja / touch / przemysłowe Komputer personal
8. PLC (Programmable Logic kontrola): OMRON / Siemens
9. Regulator temperatury: Shimaden / EUROTHERM
10. termoelementy typu C, typ S, typ R typu B
11. Rejestrator: Rejestrator / papier, importowane znak / znaki china
12. Elementy elektryczne: CHINT / Schneider / Siemens
Dane Vacuum Furnace Carbon pionie| Spec / model | VCVD-0305-C | VCVD-0608-C | VCVD-0812-C | VCVD-1015-C | VCVD-1120-C | VCVD-1520-C | VCVD-2632 - c |
| Wymiary obszaru roboczego (D x H) (mm) | Φ300 x 500 | Φ600 × 800 | Φ800 x 1200 | Φ1000 x 1500 | Φ1100 × 2000 | Φ1500 × 2000 | Φ2600 × 3200 |
| Maksymalna temperatura (° C) | 1.500 | 1.500 | 1.500 | 1.500 | 1.500 | 1.500 | 1.500 |
| jednolita temperatura (° C) | ± 5 | ± 5 | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 10 | ± 10 | ± 15 |
| Ostatecznym próżniowej (Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Zakres wzrostu ciśnienia (Pa / h) | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 |
| Powyższe parametry można regulować zgodnie z wymogami procesu, a nie muszą być przyjęte jako standard. Wymagane dane i dane zostaną zapisane w projekcie technicznym i umów. |
