opisCVD pieca poziomej rury (carburo de silicio) stosując metylotrichlorosilan (MTS), źródło powietrza do wytwarzania materiałów powłokowych odpornych na utlenianie i zmiany właściwości powierzchniowych materiału matriz.
cechy techniczne1. Podczas procesu osadzania jest faktycznie bardzo korozyjne gazy odlotowe, palny i wybuchowy, kurz i materiału stałego o małej fusión.
2. osadzanie oparów chemicznych za pomocą mikrofal komorę osadzania specjalnej konstrukcji, która zapewnia dobre działanie uszczelniające i silnej zdolności anticontaminante.
3. najbardziej zaawansowana technologia precyzyjnej kontroli przepływu i ciśnienia metylotrichlorosilanu (MTS) przyjmuje, wykonanie stabilnego strumienia powietrza osadzania i wąski zakres ciśnienia fluctuación.
4. Nowa konstrukcja przeciwkorozyjnej zespołu próżniowego zapewnia stały czas pracy i niską proporcję mantenimiento.
5. Wiele okien osadzanie zasięg jednorodność strumienia pola bez depozycji nieaktywnych rogach i lepszy efekt deposición.
Obszar roboczy 6.Okres powinno być x 2,5m x 2,5m 5m, aby zrobić miejsce dla dużego pieca CVD
Opcjonalnie układ poziomej rury pieca CVD1. Brama pieca: zawias obrotowy / przesuwne ręczne blokowania / automatyczną blokadą kołnierz bloqueo.
2. Pojemnik piec: Wszystkie stali węglowej / stal nierdzewna wewnętrzna / warstwa stalowa pełni inoxidable.
3. Piec gorąco Strefa Filc światło / światło Filc węgla / grafitu twardość w dotyku związek /CFC.
4. Element grzejny i mufy grafit izostatycznego / czystości i wysokiej gęstości prasa wytrzymałość grafit / grafit wielkość fino.
5. Sposób gazowy system: objętość / przepływomierza masowego, instrukcja / automatyczny zawór znak sprowadzony / china
6. Pompa próżniowa i cechowania: importowany znak / znaki china.
7. HMI: ekran symulacja / touch / przemysłowe Komputer personal.
8. PLC (Programmable Logic kontrola): OMRON / Siemens.
9. Regulator temperatury: Shimaden / EUROTHERM
10. Termopara: Typ C, S, K N.
11. Rejestrator: Rejestrator / papier, importowane znak / china.
12. Elementy elektryczne: CHINT / Schneider / Siemens.
13. Lastkraftwagen: typ rolki / widelec / składane typu typu przewodnictwa długo distancia.
Dane techniczne Piekarnik Vapor Deposition Chemia| Spec / model | HCvD-060609-SKI | HCvD-080812-SKI | HCvD-101015-SKI | HCvD-121225-SKI | HCvD-151530-SKI |
| Wymiary obszaru pracy (W x H x L) (mm) | Φ600 x 600 × 900 | Φ800 × 800 x 1200 | Φ1000 × 1000 x 1500 | Φ1200 x 200 × 2500 | Φ1500 x 500 × 3000 |
| Maksymalna temperatura (° C) | 1.500 | 1.500 | 1.500 | 1.500 | 1.500 |
| jednolita temperatura (° C) | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 10 | ± 10 |
| Ostatecznym próżniowej (Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Zakres wzrostu ciśnienia (Pa / h) | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 |
| Powyższe parametry można regulować zgodnie z wymogami procesu, a nie muszą być przyjęte jako standard. Wymagane dane i dane zostaną zapisane w projekcie technicznym i umów. |
