descrizioneIl forno CVD tubo verticale (carburo di silicio) richiederà metiltriclorosilano (MTS) sorgente aria per trasformare i materiali di rivestimento resistenti all'ossidazione e modificando superfici caratteri materiale matriz.
caratteristiche tecniche1. il controllo più avanzato è adottato per controllare il flusso e la pressione di metiltriclorosilano (MTS), per un flusso d'aria deposizione stabile e un piccolo campo di pressione fluctuación.
2. La deposizione di vapore chimico a microonde usando il vuoto camera di deposizione disegno speciale, che garantisce una buona tenuta e alta protezione prestazioni anticontaminante.
3. Finestre multiple assicurano deposizione campo di flusso uniformità senza deposizioni angoli inattivi e buona deposición. superficie
4. Durante il trattamento di deposizione dei gas di scarico altamente corrosivi, infiammabili e gas esplosivi, la polvere solida e materiali adesivi basso punto viene eseguita fusión.
5. Il nuovo design dell'unità vuoto anticorrosivo garantisce lunghe ore di lavoro continuo e tempi ridotti di mantenimiento.
Configurazione opzionale tubo verticale Furnace CVD1. Porta vite forno sollevamento / idraulico / manuale manuale blocco / automatico tipo collare serratura bloqueo.
2. Contenitore forno: Tutto acciaio al carbonio / acciaio inox interno strato / acciaio completamente inoxidable.
3. Zona forno caldo: Felt luce / luce feltro di carbonio / grafite feltro composito duro / CFC
4. Composto e riscaldamento muffola: Grafite forze di pressatura isostatica / purezza alta pressione e ad alta densità di grafite / grafite dimensioni fino.
5. Sistema processo gas: volume del flussometro / massa, manuale / valvola automatica, contrassegno esteri / contrassegni china.
6. Pompa a vuoto ed il calibro: marchio estero / china
7. HMI: schermo di simulazione / touch / computer industriale personal
8. PLC (Programmable Logic Control): OMRON / Siemens
9. Controllore di temperatura: Shimaden / EUROTHERM
10.Termopar: Tipo C, S, K, N
11. Recorder: registratore senza carta / carta, marca straniera / china
12. I componenti elettrici: CHINT / Schneider / Siemens
Specifiche tubo verticale Furnace CVD| Spec / Modello | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608- SIC | VCVD-0812- SIC | VCVD-1015- SIC | VCVD-1120- SIC | VCVD-1520- SIC |
| Le dimensioni dell'area di lavoro (P × A) (mm) | Φ300 × 500 | Φ600 × 800 | Φ800 × 1200 | Φ1000 × 1500 | Φ1100 × 2000 | Φ1500 × 2000 |
| temperatura massima (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| temperatura uniforme (C °) | ± 5 | ± 5 | ± 7.5 | ± 7.5 | ± 10 | ± 10 |
| Vuoto finale (Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Gamma di aumento di pressione (Pa / h) | .67 | .67 | .67 | .67 | .67 | .67 |
| I suddetti parametri possono essere regolati come richiesto dal processo, e non devono essere accettati come standard. dettagli necessari e le specifiche saranno registrati nella proposta tecnica e contratti. |
