descrizioneIl forno CVD tubo orizzontale (carburo di silicio) usando metiltriclorosilano (MTS) sorgente aria per trasformare i materiali di rivestimento resistenti all'ossidazione e di modificare le caratteristiche superficiali del materiale matriz.
caratteristiche tecniche1. Durante il processo di deposizione viene efficacemente gas altamente corrosivo rifiuti, gas infiammabile ed esplosivo, polvere e il materiale solido di bassa fusión.
2. La deposizione di vapore chimico microonde utilizzando una camera di deposizione di disegno speciale, che garantisce una buona tenuta e una forte capacità anticontaminante.
3. la tecnologia più avanzata per un controllo preciso del flusso e la pressione di metiltriclorosilano (MTS) è adottato, eseguendo stabile flusso d'aria deposizione e una gamma di pressione ristretta fluctuación.
4. Il nuovo design dell'unità vuoto anticorrosivo garantisce periodo di lavoro continuo e una bassa percentuale di mantenimiento.
5. Finestre multiple deposizione portata flusso omogeneità del campo senza deposizioni angoli inattivi e un migliore effetto deposición.
zona di lavoro 6.the dovrebbe essere 2,5 m × 2,5 m × 5 metri, al fine di fare spazio al grande forno CVD
Configurazione opzionale tubo orizzontale forno CVD1. Porta forno: Tipo cardine ruotante / scorrevole, Blocco manuale / collare blocco automatico bloqueo.
2. Contenitore forno: Tutto acciaio al carbonio / acciaio inox interno strato / acciaio completamente inoxidable.
3. Forno zona calda: feltro / luce feltro carbone / grafite feltro /CFC. disco composto
4. Componente e muffola riscaldamento: Grafite pressatura isostatica / purezza elevata densità stampa e resistenza grafite / grafite dimensioni fino.
5. Sistema processo gas: volume del flussometro / massa, manuale / valvola automatica marchio importato / china
6. pompa del vuoto e del calibro: importati marchio / marchi china.
7. HMI: schermo di simulazione / touch / Computer personal. industriale
8. PLC (Programmable Logic Control): OMRON / Siemens.
9. Controllore di temperatura: Shimaden / EUROTHERM
10. termocoppia: Tipo C, S, K, N.
11. Recorder: registratore senza carta / carta, marchio importato / china.
12. I componenti elettrici: CHINT / Schneider / Siemens.
13. Lastkraftwagen: tipo di avvolgimento / forcella / tipo pieghevole tipo di conduzione lungo distancia.
Specifiche tecniche Forno Vapor Deposition Chimica| Spec / Modello | HCvD-060609-SIC | HCvD-080.812-SIC | HCvD-101.015-SIC | HCvD-121225-SIC | HCvD-151.530-SIC |
| Dimensioni zona di lavoro (L × A × L) (mm) | Φ600 × 600 × 900 | Φ800 × 800 × 1200 | Φ1000 × 1000 × 1500 | Φ1200 × 200 × 2500 | Φ1500 × 500 × 3000 |
| temperatura massima (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| temperatura uniforme (C °) | ± 7.5 | ± 7.5 | ± 7.5 | ± 10 | ± 10 |
| Vuoto finale (Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Gamma di aumento di pressione (Pa / h) | .67 | .67 | .67 | .67 | .67 |
| I suddetti parametri possono essere regolati come richiesto dal processo, e non devono essere accettati come standard. dettagli necessari e le specifiche saranno registrati nella proposta tecnica e contratti. |
