deskripsiTungku CVD vertikal (Carbon) digunakan untuk komposit CVD menggunakan gas hidrokarbon (seperti C3H8) sebagai sumber karbon. Dia bekerja di CVD dan CVI pengobatan untuk bahan carbono.
fitur teknis1. Gunakan zona yang berbeda dari kontrol suhu sesuai dengan ukuran area kerja, memastikan homogenitas baik temperatura.
2. teknologi kontrol aliran kontrol yang paling canggih dan tekanan methyltrichlorosilane (MTS) diadopsi, membuat deposisi stabil aliran udara dan berbagai kecil fluktuasi presión.
3. Desain baru dari unit vakum anti korosi memastikan masa kerja terus menerus dan tingkat yang lebih rendah dari mantenimiento.
4. vakum tungku karbon vertikal menggunakan ruang deposisi desain khusus, yang menjamin efek penyegelan yang baik dan operasi dengan perlindungan yang maksimal anticontaminante.
5. Beberapa jendela deposisi memastikan keseragaman medan aliran, tidak ada deposisi di sudut-sudut tidak aktif dan permukaan deposición
6. gas buang yang sangat korosif, eksplosif dan gas yang mudah terbakar, bedak padat dan produk dari titik leleh rendah diperlakukan secara efektif dalam proses deposición.
Opsional konfigurasi tungku vertikal CVD1. Gerbang oven: sekrup jenis lift / hidrolik / manual lock / kunci otomatis kerah bloqueo.
2. Wadah oven: Semua baja karbon / stainless steel batin lapisan / baja untuk inoxidable
3. Hot Zona oven lembut merasa karbon / grafit merasa lembut / keras senyawa Felt / CFC
4. Komponen dan pemanasan meredam: Grafit isostatic menekan / kemurnian tinggi press / kepadatan grafit dan kekuatan tinggi / ukuran grafit fino
5. Proses Sistem gas: Volume flow meter / massa, manual / katup otomatis diimpor mark / menandai china
6. Vacuum pump dan mengukur: diimpor mark / tanda china
7. HMI: layar simulasi / sentuh / Industri personal Komputer
8. PLC (Programmable Logic Control): OMRON / Siemens
9. Suhu controller: Shimaden / EUROTHERM
10. Termokopel: tipe C, tipe S, tipe R, tipe B
11. Recorder: paperless recorder / kertas, tanda diimpor / menandai china
12. Listrik komponen: Chint / Schneider / Siemens
Spesifikasi Vacuum Furnace Carbon VertikalSpec / Model | VCVD-0305-C | VCVD-0608-C | VCVD-0812-C | VCVD-1015-C | VCVD-1120-C | VCVD-1520-C | VCVD-2632 - C |
Dimensi area kerja (D × H) (mm) | Φ300 × 500 | Φ600 × 800 | Φ800 × 1200 | Φ1000 × 1500 | Φ1100 × 2000 | Φ1500 × 2000 | Φ2600 × 3200 |
suhu maksimum (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
Suhu seragam (C °) | ± 5 | ± 5 | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 10 | ± 10 | ± 15 |
Ultimate vakum (Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
Rentang peningkatan tekanan (Pa / h) | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 |
Parameter di atas dapat disesuaikan seperti yang dipersyaratkan oleh proses, dan tidak perlu diterima sebagai standar. rincian yang diperlukan dan spesifikasi akan disimpan dalam proposal teknis dan kontrak. |