Horisontal CVD tungku (SiC)

deskripsi
Tabung horisontal tungku CVD (carburo de silicio) menggunakan methyltrichlorosilane (MTS) sumber udara untuk membuat bahan pelapis tahan terhadap oksidasi dan memodifikasi karakteristik permukaan bahan matriz. 

fitur teknis
1. Selama proses pengendapan gas secara efektif sangat korosif limbah, gas mudah terbakar dan meledak, debu dan bahan solid fusión.  rendah
2. microwave kimia deposisi uap menggunakan ruang deposisi dari desain khusus, yang menjamin efek penyegelan yang baik dan kemampuan yang kuat anticontaminante. 
3. teknologi yang paling canggih untuk kontrol yang tepat dari aliran dan tekanan dari methyltrichlorosilane (MTS) diadopsi, melakukan pengendapan aliran udara yang stabil dan berbagai tekanan yang sempit fluctuación. 
4. Desain baru dari unit vakum anti korosi memastikan masa kerja terus menerus dan proporsi rendah mantenimiento. 
5. Beberapa jendela jangkauan deposisi aliran bidang homogenitas tanpa deposisi sudut tidak aktif dan efek yang lebih baik deposición. 
area kerja 6. harus × 2.5m × 2.5m 5m, untuk membuat ruang untuk tungku CVD besar

konfigurasi opsional tabung horizontal tungku CVD
1. Gerbang oven: Jenis engsel berputar / geser, manual kunci / lock kerah otomatis bloqueo. 
2. Wadah oven: Semua baja karbon / stainless steel batin lapisan / baja Fully inoxidable. 
3. tungku zona panas: Merasa cahaya / cahaya Merasa karbon / grafit merasa /CFC.  keras senyawa
4. Komponen dan pemanasan meredam: Grafit isostatic menekan / Kemurnian tinggi kepadatan pers dan kekuatan grafit / grafit ukuran fino. 
5. Proses Sistem gas: Volume flow meter / massa, manual / katup otomatis diimpor mark / china 
6. Vacuum pump dan mengukur: diimpor mark / tanda china. 
7. HMI: layar simulasi / sentuh / Industri personal.  Komputer
8. PLC (Programmable Logic Control): OMRON / Siemens. 
9. Suhu controller: Shimaden / EUROTHERM 
10. Thermocouple: Tipe C, S, K, N. 
11. Recorder: paperless recorder / kertas, impor mark / china. 
12. Listrik komponen: Chint / Schneider / Siemens. 
13. Lastkraftwagen: jenis rol / garpu / lipat jenis jenis konduksi distancia.  panjang

spesifikasi teknis Oven Vapor Deposition Kimia

Spec / Model	HCvD-060.609-SIC	HCvD-080.812-SIC	HCvD-101015-SIC	HCvD-121.225-SIC	HCvD-151.530-SIC
Dimensi wilayah kerja (W × H × L) (mm)	Φ600 × 600 × 900	Φ800 × 800 × 1200	Φ1000 × 1000 × 1500	Φ1200 × 200 × 2500	Φ1500 × 500 × 3000
suhu maksimum (° C)	1500	1500	1500	1500	1500
Suhu seragam (C °)	± 7,5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
Ultimate vakum (Pa)	50	50	50	50	50
Rentang peningkatan tekanan (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
Parameter di atas dapat disesuaikan seperti yang dipersyaratkan oleh proses, dan tidak perlu diterima sebagai standar. rincian yang diperlukan dan spesifikasi akan disimpan dalam proposal teknis dan kontrak.