کوره های CVD عمودی (ماد)

توصیف
کوره CVD لوله عمودی (carburo د silicio) طول می کشد متیلتریکلروسیلان (MTS) منبع هوا برای ساخت مواد پوشش مقاوم در برابر اکسیداسیون و اصلاح سطوح شخصیت مواد matriz. 

ویژگی های فنی
1. کنترل پیشرفته ترین به تصویب رسید برای کنترل جریان و فشار متیلتریکلروسیلان (MTS)، ساخت یک جریان هوا رسوب پایدار و محدوده فشار کوچک fluctuación. 
2. رسوب شیمیایی بخار مایکروویو با استفاده از خلاء اتاقک طراحی خاص، که تضمین خوب اثر بسته بندی و حفاظت بالا anticontaminante.  عملکرد
3. پنجره های متعدد اطمینان رسوب میدان جریان یکنواختی بدون رسوبات گوشه غیر فعال و deposición.  سطح خوب
4. در طول درمان رسوب گاز زباله بسیار خورنده، قابل اشتعال و گاز مواد منفجره، پودر جامد و مواد چسبنده نقطه کم است انجام fusión. 
5. طراحی جدید از واحد خلاء ضد زنگ تضمین می کند ساعت های طولانی از کار مداوم و زمان کاهش می یابد از mantenimiento. 

پیکربندی اختیاری لوله عمودی CVD کوره
1. دروازه پیچ فر آسانسور / هیدرولیک / دستی قفل دستی / اتوماتیک نوع قفل یقه bloqueo. 
2. فر کانتینر: تمام استیل و کربن / فولاد ضد زنگ داخلی لایه / فولاد به طور کامل inoxidable. 
3. منطقه فر داغ: فلت نور / نور فلت کربن / گرافیت احساس کامپوزیت سخت / CFC 
4. مرکب و گرمایش صدا خفه کن: گرافیت فشار دادن / خلوص فشار بالا و گرافیت تراکم بالا نیروهای / گرافیت اندازه fino. 
5. فرآیند سیستم گاز: حجم جریان متر / جرم، کتابچه راهنمای / شیر خودکار، علامت های خارجی / علائم china. 
6. پمپ خلاء و اندازه: علامت خارجی / china 
7. HMI: صفحه نمایش شبیه سازی / لمسی / کامپیوتر صنعتی personal 
8. PLC (قابل برنامه ریزی کنترل) امرن / Siemens 
9. کنترل دما: Shimaden / EUROTHERM 
10.Termopar: نوع C، S، K، N 
11. ضبط: بدون کاغذ ضبط / مقاله، نام تجاری خارجی / china 
12. قطعات برق: CHINT / اشنایدر / Siemens 

مشخصات لوله عمودی CVD کوره

تنظیمات / مدل	VCVD-0305-SIC	VCVD-0608- SIC	VCVD-0812- SIC	VCVD-1015- SIC	VCVD-1120- SIC	VCVD-1520- SIC
ابعاد محیط کار (D × H) (میلی متر)	Φ300 × 500	Φ600 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1100 × 2000	Φ1500 × 2000
حداکثر درجه حرارت (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
درجه حرارت یکنواخت (C °)	± 5	± 5	± 7.5	± 7.5	± 10	± 10
خلاء نهایی (PA)	50	50	50	50	50	50
وسیعی از افزایش فشار (PA / ساعت)	.67	.67	.67	.67	.67	.67
پارامترهای فوق را می توان تنظیم به عنوان فرآیند مورد نیاز، و نیاز به عنوان استاندارد پذیرفته نمی شود. اطلاعات مورد نیاز و مشخصات خواهد شد در پیشنهاد فنی و قراردادهای ثبت شده است.