توصیفCVD کوره لوله افقی (carburo د silicio) با استفاده از متیلتریکلروسیلان (MTS) منبع هوا برای ساخت مواد پوشش مقاوم در برابر اکسیداسیون و برای تغییر ویژگی های سطح ماده matriz.
ویژگی های فنی1. در طول فرایند رسوب است گاز به طور موثر به شدت خورنده زباله، گاز قابل اشتعال و مواد منفجره، گرد و غبار و مواد جامد از fusión. کم
2. شیمیایی رسوب بخار مایکروویو با استفاده از یک اتاقک از طراحی خاص، که تضمین اثر آب بندی خوب و توانایی قوی anticontaminante.
3. از پیشرفته ترین تکنولوژی برای کنترل دقیق جریان و فشار متیلتریکلروسیلان (MTS) به تصویب رسید، انجام جریان هوا رسوب پایدار و محدوده فشار باریک fluctuación.
4. طراحی جدید از واحد خلاء ضد زنگ تضمین می کند دوره کار مداوم و یک نسبت پایین mantenimiento.
5. پنجره های متعدد دسترس رسوب همگن جریان زمینه بدون رسوبات گوشه غیر فعال و اثر بهتر deposición.
محل کار 6.The باید × 2.5M 2.5M × 5M، به منظور اتاق را برای کوره های CVD بزرگ باشد
پیکربندی اختیاری لوله افقی CVD کوره1. دروازه فر: نوع لولا چرخش / کشویی، قفل دستی / یقه قفل خودکار bloqueo.
2. فر کانتینر: تمام استیل و کربن / فولاد ضد زنگ داخلی لایه / فولاد به طور کامل inoxidable.
3. کوره منطقه گرم: فلت نور / نور فلت کربن / گرافیت احساس /CFC. سخت ترکیب
4. قطعات و صدا خفه کن و حرارت: گرافیت فشار دادن / خلوص بالا تراکم فشار داده و قدرت گرافیت / گرافیت اندازه fino.
5. فرآیند سیستم گاز: حجم جریان متر / جرم، کتابچه راهنمای / شیر خودکار علامت وارداتی / china
6. پمپ خلاء و اندازه: وارد علامت / علائم china.
7. HMI: صفحه نمایش شبیه سازی / لمسی / کامپیوتر صنعتی personal.
8. PLC (قابل برنامه ریزی کنترل) امرن / Siemens.
9. کنترل دما: Shimaden / EUROTHERM
10. ترموکوپل: نوع C، S، K، N.
11. ضبط: بدون کاغذ ضبط / کاغذ، علامت وارداتی / china.
12. قطعات برق: CHINT / اشنایدر / Siemens.
13. Lastkraftwagen: نوع غلتکی / چنگال / نوع تاشو نوع انتقال distancia. طولانی
مشخصات فنی اجاق گاز رسوب بخار شیمی| تنظیمات / مدل | HCvD-060609-SIC | HCvD-080812-SIC | HCvD-101015-SIC | HCvD-121225-SIC | HCvD-151530-SIC |
| ابعاد کار منطقه (W × H × L) (میلی متر) | Φ600 × 600 × 900 | Φ800 × 800 × 1200 | Φ1000 × 1000 × 1500 | Φ1200 × 200 × 2500 | Φ1500 × 500 × 3000 |
| حداکثر درجه حرارت (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| درجه حرارت یکنواخت (C °) | ± 7.5 | ± 7.5 | ± 7.5 | ± 10 | ± 10 |
| خلاء نهایی (PA) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| وسیعی از افزایش فشار (PA / ساعت) | .67 | .67 | .67 | .67 | .67 |
| پارامترهای فوق را می توان تنظیم به عنوان فرآیند مورد نیاز، و نیاز به عنوان استاندارد پذیرفته نمی شود. اطلاعات مورد نیاز و مشخصات خواهد شد در پیشنهاد فنی و قراردادهای ثبت شده است. |
