Vertikal CVD-Ofen (C)

Beschreibung
Der vertikale Ofen CVD (Kohlenstoff) wird für Verbunde CVD unter Verwendung von Kohlenwasserstoffgas (wie C3H8) als Kohlenstoffquelle verwendet. Er arbeitet in CVD und CVI-Prozess für Materialien carbono. 

Technische Merkmale
1. Verwendung verschiedener Zonen der Temperatursteuerung entsprechend der Größe des Arbeitsbereichs, eine gute Homogenität der temperatura.  Gewährleistung
2. Technologie modernste Steuerflusssteuerung und Druck von Methyltrichlorsilan (MTS) angenommen wird, eine stabile Abscheidung des Luftstrom und eine geringe Schwankungsbreite presión.  machen
3. Das neue Design der Saugeinheit antikorrosive sorgt für eine kontinuierliche Arbeitsperiode und eine niedrigere Rate von mantenimiento. 
4. Der Vakuumofen Kohlenstoff verwendet eine vertikale Abscheidekammer spezielle Konstruktion, die eine gute Dichtwirkung und Betrieb mit maximalem Schutz gewährleistet anticontaminante. 
5. Mehrere Fenster Abscheidungsgleichmßigkeit des Strömungsfeldes gewährleisten, keine Ablagerungen in den inaktiven Ecken und eine Oberfläche deposición 
6. Das Abgas stark korrosiv, explosiv und brennbares Gas, das feste Pulver und das Produkt mit niedrigem Schmelzpunkt werden wirksam in dem Verfahren behandelt deposición. 

Optional Vertikal CVD-Ofen-Konfiguration
1. Tor Ofen: schraubbar Hub- / hydraulisch / manuell manuell Verriegelungs- / automatische Verklinkungsmanschette bloqueo. 
2. Container Ofen: Alle Kohlenstoffstahl / Edelstahl innere Schicht / Stahl für inoxidable 
3. Hot Zone Ofen weichen Filz Kohlenstoff / Graphit-Filz weich / hart Verbindung Filz / CFC 
4. Komponente und Heizmuffel: Graphit isostatisches Pressen / hohe Reinheit Presse / Graphit Dichte und hohe Festigkeit / size Graphit fino 
5.es Systemprozessgas: Durchflussmesser Volumen / Masse, manuelles / automatisches Ventil importierte Marke / markiert china 
6. Vakuumpumpe und Stärke: importierte Marke / Marken china 
7. HMI: Simulation Bildschirm / touch / Industrial Computer personal 
8. SPS (Speicherprogrammierbare Steuerung): OMRON / Siemens 
9. Temperaturregler: Shimaden / EUROTHERM 
10. Thermoelemente: Typ C, Typ S, R-Typ, B-Typ
11. Recorder: Bildschirmschreiber / Papier, importierte Marke / markiert china 
12. Elektrische Komponenten: CHINT / Schneider / Siemens 

Spezifikationen Vacuum Furnaceruß Vertikal

Spec / Model	VCVD-0305-C	VCVD-0608-C	VCVD-0812-C	VCVD-1015-C	VCVD-1120-C	VCVD-1520-C	VCVD-2632 - C
Abmessungen des Arbeitsbereiches (D x H) (mm)	Φ300 × 500	Φ600 × 800	Φ800 × 1200	Φ1000 × 1500	Φ1100 × 2000	Φ1500 × 2000	Φ2600 × 3200
Maximaltemperatur (° C)	1500	1500	1500	1500	1500	1500	1500
gleichmäßige Temperatur (° C)	± 5	± 5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10	± 15
Endvakuum (Pa)	50	50	50	50	50	50	50
Bereich der Druckerhöhung (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
Die oben genannten Parameter können durch das Verfahren erforderlich eingestellt werden und muss nicht als Standard akzeptiert werden. Erforderliche Details und Spezifikationen werden im technischen Angebot und Verträge aufgenommen werden.