BeschreibungDer horizontale Rohrofen CVD (carburo de silicio) unter Verwendung von Methyltrichlorsilan (MTS) Luftquelle für Beschichtungsmaterialien machen oxidationsbeständig und Oberflächeneigenschaften des Materials zu modifizieren matriz.
Technische Merkmale1. Während des Abscheidungsprozesses effektiv hochkorrosiven Abgas, brennbare und explosive Gas, Staub und das feste Material mit niedriger fusión.
2. Die Mikrowellen-chemische Dampfabscheidung eine Abscheidungskammer von speziellem Design, die eine gute Dichtwirkung gewährleistet und eine starke Fähigkeit anticontaminante.
3. die fortschrittlichste Technologie für eine präzise Steuerung der Strömung und den Druck von Methyltrichlorsilan (MTS) angenommen wird, Durchführen stabile Abscheidungsluftstrom und einen schmalen Druckbereich fluctuación.
4. Das neue Design der Saugeinheit antikorrosive sorgt für eine kontinuierliche Arbeitsperiode und einen geringen Anteil an mantenimiento.
5. Mehrere Fenster Ablagerung erreichen Homogenität Feldfluss ohne Ablagerungen inaktiven Ecken und eine bessere Wirkung deposición.
6.Die Arbeitsbereich sollte × 2,5 m × 2,5 m 5 m sein, um Platz für den großen CVD-Ofen zu machen
Optionale Konfiguration horizontalen Rohrofen CVD1. Tor Ofen: Scharnier Dreh / Schiebe, manuelle Verriegelungs- / automatische Verklinkungsmanschette bloqueo.
2. Container Ofen: Alle Kohlenstoffstahl / Edelstahl Innenschicht / Stahl Voll inoxidable.
3. Heißzonenofen: Felt Licht / Licht Felt Kohlenstoff / Graphit Hartstoffkompound /CFC. Filz
4. Komponente und Heizmuffel: Graphit isostatisches Pressen / Purity hohe Pressdichte und Festigkeit Graphit / Graphit Größe fino.
5.es Systemprozessgas: Durchflussmesser Volumen / Masse, manuelles / automatisches Ventil importierte Marke / china
6. Vakuumpumpe und Stärke: importierte Marke / Marken china.
7. HMI: Simulation Bildschirm / touch / Industrial Computer personal.
8. SPS (Speicherprogrammierbare Steuerung): OMRON / Siemens.
9. Temperaturregler: Shimaden / EUROTHERM
10. Thermoelement: Typ C, S, K, N.
11. Recorder: Bildschirmschreiber / Papier, importierte Marke / china.
12. Elektrische Komponenten: CHINT / Schneider / Siemens.
13. Lastkraftwagen: Walzentyp / Gabel / faltbaren Leitungstyp lange distancia.
Technische Daten Ofen Vapor Deposition Chemie| Spec / Model | HCvD-060609-SIC | HCvD-080812-SIC | HCvD-101015-SIC | HCvD-121225-SIC | HCvD-151530-SIC |
| Maß Arbeitsbereich (W × H × L) (mm) | Φ600 × 600 × 900 | Φ800 × 800 × 1200 | Φ1000 x 1000 × 1500 | Φ1200 × 200 × 2500 | Φ1500 × 500 × 3000 |
| Maximaltemperatur (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| gleichmäßige Temperatur (° C) | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 10 | ± 10 |
| Endvakuum (Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Bereich der Druckerhöhung (Pa / h) | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 |
| Die oben genannten Parameter können durch das Verfahren erforderlich eingestellt werden und muss nicht als Standard akzeptiert werden. Erforderliche Details und Spezifikationen werden im technischen Angebot und Verträge aufgenommen werden. |
