descriptionLa CVD de four à tube vertical (carbure de silicio) tire le méthyltrichlorosilane (MTS) source d'air pour la fabrication de matériaux de revêtement résistant à l'oxydation et la modification de surfaces de caractères matériau matriz.
Caractéristiques techniques1. le contrôle le plus avancé est adopté pour commander le débit et la pression du méthyltrichlorosilane (MTS), faisant un écoulement d'air de dépôt stable et une petite gamme de pression fluctuación.
2. Le dépôt chimique en phase vapeur par micro-ondes en utilisant la chambre de dépôt sous vide de conception spéciale, ce qui assure un bon effet d'étanchéité et de protection haute performance anticontaminante.
3. Plusieurs fenêtres assurent champ d'écoulement d'uniformité de dépôt sans coins dépositions inactifs et une bonne deposición. de surface
4. Au cours du traitement de dépôt des effluents gazeux hautement corrosifs, inflammables et de gaz explosifs, la poudre solide et des matériaux adhésifs à faible point est effectuée fusión.
5. La nouvelle conception de l'unité de vide anticorrosif assure de longues heures de travail continu et la réduction du temps de mantenimiento.
Configuration optionnelle Four vertical Tube CVD1. Porte Elévateur à vis four / hydraulique / manuel verrouillage manuel / type de collier de verrouillage automatique bloqueo.
2. Four Container: Acier carbone / acier inoxydable couche intérieure / acier entièrement inoxidable.
3. Zone four chaud: feutre lumière / lumière en feutre de carbone / graphite feutre composite dur / CFC
4. Composé et moufle de chauffage: graphite isostatique de pression / haute pression et de pureté forces de graphite à haute densité / taille de graphite fino.
5. gaz processus système: volume / masse débitmètre, vanne manuelle / automatique, marque étrangère / marques china.
6. Pompe à vide et jauge: marque étrangère / china
7. IHM: écran de simulation / contact / ordinateur industriel personal
8. PLC (contrôle logique programmable): OMRON / Siemens
9. Régulateur de température: Shimaden / EUROTHERM
10.Termopar: Type C, S, K, N
11. Enregistreur: sans papier / papier, marque étrangère / china
12. Composants électriques: CHINT / Schneider / Siemens
Caractéristiques verticale CVD four tubulaire| Spec / Modèle | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608- SIC | VCVD-0812- SIC | VCVD-1015- SIC | VCVD-1120- SIC | VCVD-1520- SIC |
| Les dimensions de la zone de travail (D × H) (mm) | Φ300 × 500 | Φ600 × 800 | Φ800 × 1200 | Φ1000 × 1500 | Φ1100 × 2000 | Φ1500 × 2000 |
| Température maximale (° C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| température uniforme (C °) | ± 5 | ± 5 | ± 7,5 | ± 7,5 | ± 10 | ± 10 |
| vide final (Pa) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
| Gamme d'augmentation de pression (Pa / h) | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 | 0,67 |
| Les paramètres ci-dessus peuvent être ajustés selon les besoins du processus, et ne doivent pas être acceptés en standard. les détails nécessaires et les spécifications seront enregistrées dans la proposition technique et des contrats. |
