Vandret CVD ovn (SiC)

beskrivelse
Den vandrette rørovn CVD (carburo de silicio) under anvendelse methyltrichlorsilan (MTS) luftkilde til fremstilling overtræksmaterialer resistente over for oxidation og til at modificere overfladeegenskaber af materialet matriz. 

Tekniske funktioner
1. Under afsætningsprocessen er effektivt stærkt ætsende røggas, brandfarlige og eksplosive gas, støv og det faste materiale med lav fusión. 
2. mikrobølgeovn kemisk dampaflejring under anvendelse af en aflejring kammer af speciel udformning, som sikrer en god tætningseffekt og en stærk evne anticontaminante. 
3. den mest avancerede teknologi til præcis styring af flow og tryk af methyltrichlorsilan (MTS) vedtages, udfører stabil aflejring luftstrøm og en snæver trykområde fluctuación. 
4. Det nye design fra støvsugeren antikorrosiv sikrer uafbrudt arbejdsperiode og en lav andel af mantenimiento. 
5. Flere vinduer aflejring rækkevidde homogenitet felt flow uden depositioner inaktive hjørner og en bedre effekt deposición. 
6.Det arbejdsområde bør være × 2.5m × 2.5m 5m, for at gøre plads til den store CVD ovn

Valgfri konfiguration Vandret rørovn CVD
1. Gate ovn: Type hængsel roterende / glidende, Manuel lås / automatisk låsekrave bloqueo. 
2. Container ovn: Alt kulstofstål / rustfrit stål Indvendigt lag / stål Fuldt inoxidable. 
3. varme zone ovn: Felt lys / lys Filt carbon / grafit følte hårdt Forbindelse /CFC. 
4. Komponent og opvarmning muffel: Grafit isostatisk presning / Renhed høj tryk tæthed og styrke grafit / grafit størrelse fino. 
5. System procesgas: flowmeter volumen / masse, manuel / automatisk ventil importeret varemærke / china 
6. vakuumpumpe og gauge: importeret mærke / mærker china. 
7. HMI: simulering skærm / touch / Industrial Computer personal. 
8. PLC (Programmable Logic Control): OMRON / Siemens. 
9. Temperaturvogter: Shimaden / EUROTHERM 
10. Termoelement: Type C, S, K, N. 
11. Recorder: papirløs skriver / papir, importeret mærke / china. 
12. Elektriske komponenter: CHINT / Schneider / Siemens. 
13. Lastkraftwagen: rulletypen / gaffel / sammenklappelige ledningstype lang distancia. 

Tekniske specifikationer Ovn Vapor Deposition Kemi

Spec / Model	HCvD-060.609-SIC	HCvD-080.812-SIC	HCvD-101.015-SIC	HCvD-121.225-SIC	HCvD-151.530-SIC
Dimensioner arbejder område (B × H × L) (mm)	Φ600 × 600 × 900	Φ800 × 800 × 1200	Φ1000 × 1000 × 1500	Φ1200 × 200 × 2500	Φ1500 × 500 × 3000
Maksimal temperatur (° C)	1500	1500	1500	1500	1500
ensartet temperatur (C °)	± 7,5	± 7,5	± 7,5	± 10	± 10
Slutvakuum (Pa)	50	50	50	50	50
Trykområde stigning (Pa / h)	0,67	0,67	0,67	0,67	0,67
Ovenstående parametre kan justeres efter behov ved processen, og behøver ikke at blive accepteret som standard. Nødvendige detaljer og specifikationer vil blive registreret i det tekniske forslag og kontrakter.